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《微電子工藝技術與仿真》共8章，從微電子工藝的物理學、晶體學、器件基礎開始，根據(jù)工藝的復雜程度深入淺出地介紹了晶圓材料的生長與制備、氧化/擴散工藝、光刻工藝、薄膜工藝、等離子工藝、工藝整合和太陽能電池工藝。每章的編纂既體現(xiàn)了微電子工藝技術的科學性，又通過分析具體的工藝方法，體現(xiàn)了技術性。針對微電子工藝的實踐性要求，克服

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