《微機電系統(tǒng)設計及應用探究》一書中講述的微機電系統(tǒng)涉及多學科交叉,具有能夠在狹小空間內進行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境的特點,有著廣泛的應用前景。本書結合當前微機電系統(tǒng)的科學研究,對微機電系統(tǒng)原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統(tǒng)的應用等內容進行了介紹,使讀者對微機電系統(tǒng)的設計與制造有一個比較完整的了解,為開展微機電系統(tǒng)的研究奠定必要的基礎。

阮勇、尤政編著的《硅MEMS工藝與設備基礎/MEMS與微系統(tǒng)系列/微米納米技術叢書》在第1章首先介紹MEMS器件的硅MEMS基本工藝、器件和新材料，在此基礎上，第2章闡述MEMS工藝設計規(guī)則與工藝誤差，第3章至第8章闡述硅MEMS單項工藝，介紹相關工藝原理與典型設備，第9章分析列舉了典型的硅MEMS器件結構的工藝制備，第10章和第11章介紹圓片鍵合和封裝技術，第12章圍繞工藝中的參數討論了檢測技術，附錄部分對于真空技術、相關藥品與安全防護進行總結。本書詳細介紹了硅MEMS器件所需的工藝與設備，能

相對于人們對涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術發(fā)展得非�？臁Ｖ挥猩羁陶莆掌浠�本原理，才能促進MEMS技術的提高，才有可能進行微機電系統(tǒng)的設計和制造，并讓其在現有的和設想的各個領域廣泛應用。本書是MEMS手冊中的基礎部分，提供有關MEMS理論和技術基礎的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學、流體力學、力學、光學、電、潤滑，還包含了控制理論、分布式控制及軟計算的內容。這些內容涉及未來應用的各種重要基礎知識，將其應用于微傳感器和微執(zhí)行器能夠實現節(jié)約能源的有效控制并提高人工裝置性能。

《微特電機》系統(tǒng)地介紹了各種微特電機運行原理、性能特點和設計方法等內容。全書共分三篇：上篇介紹通用基礎理論，分別從電磁理論基礎、磁路分析與永磁磁路、交流繞組基礎、損耗與發(fā)熱、振動、噪聲與電磁兼容、電機常用分析方法等方面進行詳細講述；中篇介紹伺服與控制電機，從電氣伺服驅動系統(tǒng)的共性問題出發(fā)，主要講述了永磁直流電動機、永磁交流伺服電動機、感應伺服電動機、開關磁阻電機、步進電動機和傳感器等；下篇介紹驅動與特種電機，主要講述同步電機、單相電機、交直流兩用電動機、直線電機、磁滯電動機、超聲波電機等。本書內