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微機電系統(tǒng)力學 
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微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展突飛猛進，涵蓋的領域日漸寬廣，市場前景及對國民經(jīng)濟的影響日益廣闊，人們對其原理、特性及規(guī)律的研究和認識也日趨深入。微機電系統(tǒng)的特征尺寸在微納米范圍，尺度上存在特殊性。但它并不是宏觀機電系統(tǒng)的簡單縮小，更不是微電子技術(shù)的簡單外延。在微納米尺度范圍內(nèi)，微結(jié)構(gòu)的力學行為并不完全相似于宏觀的結(jié)構(gòu)，微機械的運動也并不完全相似于宏觀的機械。材料本身的特性在微納米尺度下也出現(xiàn)了新的值得探索的狀況和問題。事實上，微機電系統(tǒng)技術(shù)的難度核心主要不是表現(xiàn)在微電子方面，而是表現(xiàn)在微機械或微結(jié)構(gòu)方面，表現(xiàn)在微機械(或微結(jié)構(gòu))與微電子的有機結(jié)合方面。微機械的運動、微結(jié)構(gòu)的變形、電子與機械的能量轉(zhuǎn)換、微系統(tǒng)的智能控制等都是微機電系統(tǒng)的技術(shù)核心。而微機械的運動、微結(jié)構(gòu)的變形、機械與電子的能量轉(zhuǎn)換、微系統(tǒng)的智能控制等卻更多地依賴于所處的力學環(huán)境。從力學的角度看，微納米尺度下的力學環(huán)境相對于宏觀尺度已發(fā)生了很大的變化。任何在宏觀系統(tǒng)中認為微不足道的因素都有可能成為微機電系統(tǒng)中的重要因素。因此，就當前的科技發(fā)展水平，系統(tǒng)地闡述微納米尺度下的力學特性、力學行為和力學規(guī)律是很必要的。
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