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薄膜體聲波諧振器結(jié)構(gòu)分析的二維振動理論 薄膜體聲波諧振器(FBAR)是一種利用壓電效應制成的高精度頻率基準器件,廣泛應用于通信與傳感領(lǐng)域。與傳統(tǒng)諧振器相比,F(xiàn)BAR具有高頻率、微尺寸、易加工、易集成等優(yōu)勢,更符合現(xiàn)代電子器件的發(fā)展趨勢。然而,F(xiàn)BAR的結(jié)構(gòu)振動分析涉及結(jié)構(gòu)的復雜性、材料各向異性、高頻率振動、多模態(tài)耦合、多物理場耦合等多方面的技術(shù)難題,目前,無論在學術(shù)界還是工業(yè)界,依然缺乏高效可靠的理論分析工具供研發(fā)人員使用!侗∧んw聲波諧振器結(jié)構(gòu)分析的二維振動理論》從線彈性壓電理論出發(fā),詳細介紹兩種適用于FBAR結(jié)構(gòu)振動分析的二維近似理論,即基于冪級數(shù)展開法的高階板理論及基于小擾動假設(shè)的二維標量微分方程理論。通過介紹這兩種近似方法的應用,探討FBAR結(jié)構(gòu)振動分析中的一系列常見問題,包括模態(tài)耦合效應的基本規(guī)律、能陷效應及其應用、寄生模態(tài)的特征分析及抑制等。 更多科學出版社服務,請掃碼獲取。 ![]()
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