本書全面系統(tǒng)地介紹了精密納米計量的相關(guān)知識，重點講述了精密納米制造中測量角度和位移的光學(xué)傳感器，提出了改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術(shù)，并開發(fā)了新的多軸傳感方法；同時，詳細(xì)介紹了精密納米計量中用于表面形狀和平臺運(yùn)動的掃描型測量系統(tǒng)，闡述了納米制造中最基本的幾何形狀的測量誤差分離算法和系統(tǒng)；最后對微觀非球面的測量，納米制造中微納結(jié)構(gòu)的精密納米計量，以及長結(jié)構(gòu)的微觀尺寸的快速、準(zhǔn)確測量等進(jìn)行了介紹。