本書(shū)主要介紹四種超導(dǎo)探測(cè)器:超導(dǎo)隧道結(jié)(SIS)和超導(dǎo)熱電子(HEB)混頻器,超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器(MKID)和超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器(TES)。其中前兩種主要用于高光譜分辨率相干探測(cè),后兩種主要用于大規(guī)模陣列成像探測(cè)。具體內(nèi)容包括四種超導(dǎo)探測(cè)器的基本原理、物理特性、設(shè)計(jì)分析方法及應(yīng)用等。本書(shū)可供從事太赫茲頻段高靈敏度探測(cè)的研究人員和相關(guān)工程技術(shù)人員使用,也可作為高等院校相關(guān)專(zhuān)業(yè)的參考用書(shū)。
戰(zhàn)略前沿新技術(shù)太赫茲出版工程是華東理工大學(xué)出版社重大學(xué)術(shù)出版項(xiàng)目,得到了中國(guó)科學(xué)院雷嘯霖院士、中國(guó)工程院莊松林院士等國(guó)內(nèi)知名專(zhuān)家學(xué)者的大力支持。叢書(shū)總主編曹俊誠(chéng),中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員,國(guó)家杰出青年基金獲得者(2004)、中科院百人計(jì)劃入選者(2009)、國(guó)務(wù)院政府特殊津貼獲得者、國(guó)家科技部重大儀器專(zhuān)項(xiàng)首席科學(xué)家。叢書(shū)共14分冊(cè),具體分為太赫茲源、太赫茲探測(cè)及太赫茲應(yīng)用三大部分,闡釋太赫茲測(cè)試過(guò)程中的各種前沿技術(shù),詳細(xì)介紹太赫茲基礎(chǔ)性能研究以及太赫茲技術(shù)在國(guó)防、安全、通信、醫(yī)療、天文等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用,結(jié)合創(chuàng)作者多年的相關(guān)研究成果和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),借鑒和歸納總結(jié)國(guó)內(nèi)外相關(guān)研究領(lǐng)域?qū)<覍W(xué)者和科研人員的研究成果,是國(guó)內(nèi)首套全面、詳細(xì)介紹太赫茲技術(shù)的原創(chuàng)叢書(shū),代表了國(guó)內(nèi)一流研究水平,為該領(lǐng)域?qū)I(yè)人員提供關(guān)鍵技術(shù)參考,旨在加強(qiáng)先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)、推廣和應(yīng)用。本書(shū)為戰(zhàn)略前沿新技術(shù)太赫茲出版工程05分冊(cè),全書(shū)采用80克雅質(zhì)紙,彩色印刷。本書(shū)主要介紹四種超導(dǎo)探測(cè)器:超導(dǎo)隧道結(jié)(SIS)和超導(dǎo)熱電子(HEB)混頻器,超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器(MKID)和超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器(TES)。其中前兩種主要用于高光譜分辨率相干探測(cè),后兩種主要用于大規(guī)模陣列成像探測(cè)。具體內(nèi)容包括四種超導(dǎo)探測(cè)器的基本原理、物理特性、設(shè)計(jì)分析方法及應(yīng)用等。
太赫茲(THz)波段一般定義為0.1~10THz的頻率區(qū)間,覆蓋短毫米波至亞毫米波(遠(yuǎn)紅外)頻段。人們?cè)缫颜J(rèn)識(shí)到該波段在天文學(xué)、大氣科學(xué)、物理學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、信息科學(xué)等領(lǐng)域的重要科學(xué)意義及豐富應(yīng)用前景。但長(zhǎng)期以來(lái),由于太赫茲探測(cè)及信號(hào)產(chǎn)生技術(shù)的嚴(yán)重缺乏,以及地球大氣對(duì)太赫茲輻射的強(qiáng)吸收,導(dǎo)致該波段至今還是一個(gè)有待全面研究和開(kāi)發(fā)應(yīng)用的電磁波段。另一方面,隨著太赫茲技術(shù)研究的深入,針對(duì)太赫茲應(yīng)用的探討也在逐漸深化。在天文學(xué)領(lǐng)域,太赫茲及遠(yuǎn)紅外譜段觀測(cè)幾乎涉及當(dāng)代天文學(xué)的所有基本問(wèn)題,尤其在恒星及其行星系統(tǒng)的形成與演化、早期宇宙演化等前沿領(lǐng)域研究中具有不可替代的作用。近期,在宇宙微波背景、黑洞、極早期星系、原行星盤(pán)、宇宙生命環(huán)境等觀測(cè)研究方面取得了突破進(jìn)展。在大氣科學(xué)領(lǐng)域,地球大氣中大量臭氧、鹵素化合物等微量氣體分子發(fā)射譜線(xiàn)和水汽、氧等分子吸收譜線(xiàn)都位于太赫茲頻段,針對(duì)這些太赫茲微量氣體示蹤分子的探測(cè)對(duì)于理解全球氣候變化趨勢(shì)有非常重要的作用。太赫茲譜段的另外兩項(xiàng)重要應(yīng)用是:太赫茲通信與太赫茲成像。太赫茲通信主要利用該頻段的豐富頻譜資源,但受到大氣對(duì)太赫茲信號(hào)衰減影響,仍局限于大容量、近距離通信。太赫茲成像的優(yōu)勢(shì)在于:與光學(xué)紅外譜段比有一定的穿透性,與微波比有更高的空間分辨率,此外該波段有其獨(dú)特的指紋譜特征。因此,太赫茲成像在國(guó)家安全、生命科學(xué),以及天文學(xué)等領(lǐng)域正顯現(xiàn)其重要應(yīng)用價(jià)值。針對(duì)上述太赫茲譜段的諸多應(yīng)用,高靈敏度相干探測(cè)器及非相干成像探測(cè)器不可或缺。眾所周知,超導(dǎo)現(xiàn)象發(fā)現(xiàn)于1911年,但直到1957年,基于微觀量子理論的超高靈敏度太赫茲超導(dǎo)探測(cè)器002 BCS理論建立才較為完滿(mǎn)地解釋了超導(dǎo)電性的物理本質(zhì)。BCS理論引入了庫(kù)珀對(duì)概念,庫(kù)珀對(duì)兩個(gè)電子間的相干長(zhǎng)度為0.1~1m,結(jié)合能量(即能隙)在meV水平。由于超導(dǎo)體的超低能隙,一直被認(rèn)為是理想的微波至高能譜段的光子探測(cè)器。20世紀(jì)60年代初期,BrianJosephson理論預(yù)言了Josephson效應(yīng),Ivar Giaever實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)了超導(dǎo)體中的準(zhǔn)粒子隧穿效應(yīng),自此才真正開(kāi)始了基于超導(dǎo)隧穿效應(yīng)的混頻實(shí)驗(yàn)研究。20世紀(jì)70年代末至20世紀(jì)80年代初,JohnTucker等建立了基于光子輔助準(zhǔn)粒子隧穿效應(yīng)的量子混頻理論,并預(yù)言混頻器噪聲可達(dá)量子噪聲、可實(shí)現(xiàn)變頻增益,以及具有負(fù)阻效應(yīng)等重要結(jié)果;Bell實(shí)驗(yàn)室的M.Gurvitch等發(fā)明了基于標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝的Nb/Al AlO狓/Nb超導(dǎo)隧道結(jié)制備工藝,使得超導(dǎo)隧道結(jié)器件制備可靠性及質(zhì)量得到大幅提升。自此以后,毫米波、亞毫米波段超導(dǎo)隧道結(jié)(Superconductor Insulator Superconductor,SIS)混頻器技術(shù)研究及應(yīng)用得到快速發(fā)展,特別是在國(guó)際大科學(xué)裝置SMA 和ALMA、空間天文臺(tái)Herschel等應(yīng)用驅(qū)動(dòng)下。20世紀(jì)90年代末,另外一種基于納米尺度厚超導(dǎo)薄膜的超導(dǎo)熱電子(Hot Electron Bolometer,HEB)混頻器技術(shù)又應(yīng)運(yùn)而生,使得此類(lèi)混頻器探測(cè)瞬時(shí)帶寬達(dá)GHz水準(zhǔn)。通過(guò)近二十年的發(fā)展,超導(dǎo)HEB混頻器已可覆蓋整個(gè)太赫茲譜段,且靈敏度(即噪聲溫度)已接近5倍量子噪聲。超導(dǎo)SIS和HEB混頻器是目前1THz以下和1THz以上譜段靈敏的高頻譜分辨率譜線(xiàn)探測(cè)器。在太赫茲成像探測(cè)方面,超導(dǎo)探測(cè)器誕生之前主要依賴(lài)于半導(dǎo)體Bolometer,但探測(cè)器陣列及靈敏度都受到很大限制。得益于21世紀(jì)初超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器(Transition EdgeSensor,TES)和超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器(Microwave Kinetic Inductance Detectors, MKID)技術(shù)的發(fā)展,大規(guī)模陣列成像裝置得到快速發(fā)展,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于宇宙微波背景觀測(cè)等領(lǐng)域?傊,太赫茲超導(dǎo)探測(cè)器在天文觀測(cè)領(lǐng)域正發(fā)揮越來(lái)越重要的作用,在大氣科學(xué)、量子信息等領(lǐng)域也受到特別關(guān)注。本書(shū)主要介紹目前四種國(guó)際主流的超導(dǎo)探測(cè)器,對(duì)于太赫茲頻段高靈敏度探測(cè)感興趣的讀者應(yīng)有重要參考價(jià)值。本書(shū)主要分為5 章,分別介紹了超導(dǎo)隧道結(jié)(SIS)混頻器,超導(dǎo)熱電子(HEB)混頻器,超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器(MKID),超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器(TES)以及量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL)與超導(dǎo)熱電子(HEB)混頻器結(jié)合的相關(guān)理論、國(guó)內(nèi)外研究進(jìn)展和相關(guān)實(shí)驗(yàn)技術(shù)等。本書(shū)由史生才和李婧撰寫(xiě)第1章,繆巍撰寫(xiě)第2章,李婧和石晴撰寫(xiě)第3章,張文撰寫(xiě)第4章,任遠(yuǎn)撰寫(xiě)第5章,并由石晴負(fù)責(zé)本書(shū)的編輯和整理工作。本書(shū)內(nèi)容著重于基本原理的介紹和現(xiàn)象的理解,一些實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)和更深入的內(nèi)容未過(guò)多涉及,有興趣的讀者可以參考書(shū)后的相關(guān)參考文獻(xiàn)。由于編者水平有限,書(shū)中難免還存在疏漏,殷切希望廣大讀者批評(píng)指正。
史生才,1985年畢業(yè)于南京工學(xué)院(現(xiàn)東南大學(xué))無(wú)線(xiàn)電工程系,1988年獲中國(guó)科學(xué)院研究生院碩士學(xué)位,1996年獲日本綜合研究大學(xué)院大學(xué)天文系博士學(xué)位,F(xiàn)為中國(guó)電子學(xué)會(huì)微波分會(huì)學(xué)術(shù)委員會(huì)委員,東南大學(xué)毫米波國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)委員,南京林業(yè)大學(xué)信息學(xué)院兼職教授,中科院上海天文臺(tái)兼職博導(dǎo)。史生才研究員是1998年度國(guó)家基金委國(guó)家基金委杰出青年科學(xué)基金入選者,1999年度財(cái)政部國(guó)外杰出人才引進(jìn)計(jì)劃入選者,2007年江蘇省333高層次人才培養(yǎng)工程中青年首席科學(xué)家入選者。史生才研究員主要從事基于低溫超導(dǎo)器件的太赫茲高靈敏度微弱信號(hào)探測(cè)技術(shù)研究及應(yīng)用系統(tǒng)研究,在該領(lǐng)域已取得許多高水平成果:主持研制了我國(guó)首臺(tái)100-GHz頻段超導(dǎo)SIS接收機(jī),并在其基礎(chǔ)上成功研制了多譜線(xiàn)接收系統(tǒng);主持研制了我國(guó)*500-GHz頻段的低耗電小型化超導(dǎo)SIS接收系統(tǒng),在我國(guó)首次觀測(cè)到亞毫米波段的星際分子譜線(xiàn);率領(lǐng)其團(tuán)隊(duì)與日本NiCT研究所合作,成功研制基于 NbN超導(dǎo)隧道結(jié)的500-GHz頻段高性能超導(dǎo)混頻器,在國(guó)際上首次將NbN超導(dǎo)混頻技術(shù)應(yīng)用于天文觀測(cè)研究等。發(fā)表高水平(SCI收錄)學(xué)術(shù)論文多篇,曾獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、中科院科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、江蘇省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、青海省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等。主要研究方向?yàn)樘掌澨綔y(cè)技術(shù)、方法及應(yīng)用。
1 超導(dǎo)隧道結(jié)混頻器0011.1 引言0031.2 超導(dǎo)量子混頻理論0071.2.1 超導(dǎo)基本理論0071.2.2 約瑟夫森效應(yīng)0131.2.3 經(jīng)典混頻理論0161.2.4 超導(dǎo)隧道結(jié)準(zhǔn)粒子隧穿效應(yīng)0241.2.5 量子混頻理論0291.3 超導(dǎo)隧道結(jié)單片集成調(diào)諧技術(shù)0331.3.1 Mattis Bardeen理論及表面阻抗0331.3.2 超導(dǎo)隧道結(jié)調(diào)諧和阻抗變換電路0351.4 超導(dǎo)隧道結(jié)混頻器芯片制備工藝0351.5 毫米波和亞毫米波超導(dǎo)隧道結(jié)混頻器0361.6 小結(jié)與展望0412 超導(dǎo)熱電子混頻器0432.1 引言0452.2 超導(dǎo)熱電子混頻器基本原理0452.2.1 超導(dǎo)熱電子混頻器原理0452.2.2 超導(dǎo)熱電子混頻器特性0502.3 超導(dǎo)熱電子混頻器熱點(diǎn)模型0582.3.1 一維熱點(diǎn)模型0582.3.2 非均勻吸收熱點(diǎn)模型0622.4 超導(dǎo)熱電子混頻器物理機(jī)制及特性0662.4.1 超導(dǎo)熱電子混頻器量子噪聲0662.4.2 超導(dǎo)熱電子混頻器溫度變化特性0682.4.3 超導(dǎo)熱電子混頻器犜c變化特性0712.4.4 超導(dǎo)熱電子混頻器磁場(chǎng)變化特性0742.5 天線(xiàn)耦合超導(dǎo)熱電子混頻器0772.5.1 1.3THz頻段超導(dǎo)熱電子混頻器0772.5.2 0.1~1.5THz超寬帶超導(dǎo)熱電子混頻器082003 目錄2.6 小結(jié)與展望0843 超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器0873.1 引言0903.1.1 MKID發(fā)展歷史及應(yīng)用領(lǐng)域0903.1.2 MKID芯片常用薄膜特性0913.1.3 MKID的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)0923.2 超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器機(jī)理及特性0943.2.1 超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器基本原理0943.2.2 超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器特性1023.3 頻分復(fù)用讀出技術(shù)1113.3.1 超導(dǎo)探測(cè)器讀出技術(shù)1113.3.2 MKID頻分復(fù)用讀出技術(shù)1123.3.3 32像元32像元MKID頻分復(fù)用讀出電路1163.4 32像元32像元超導(dǎo)動(dòng)態(tài)電感探測(cè)器陣列1183.4.1 探測(cè)器陣列仿真設(shè)計(jì)1193.4.2 探測(cè)器陣列芯片制備1213.4.3 探測(cè)器陣列特性1253.5 小結(jié)與展望1404 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器1414.1 引言1434.2 輻射熱探測(cè)器基本原理1454.3 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器機(jī)理及特性1504.3.1 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器基本原理1504.3.2 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器噪聲1554.3.3 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器復(fù)阻抗1594.4 單像元超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器1604.4.1 單層膜超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器1604.4.2 雙層膜超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器1644.4.3 合金膜超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器165超高靈敏度太赫茲超導(dǎo)探測(cè)器004 4.5 大規(guī)模超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器陣列1664.5.1 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器陣列1674.5.2 超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器陣列讀出電路1684.5.3 8像元8像元超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器陣列1764.5.4 256像元超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器陣列1804.6 超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器1824.6.1 超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器特性1824.6.2 鎢超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器1844.6.3 鈦超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器1864.6.4 鈦金超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器1904.7 小結(jié)與展望1915 量子級(jí)聯(lián)激光器與超導(dǎo)熱電子混頻器集成技術(shù)研究1935.1 引言1955.2 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器基本原理1975.2.1 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器電子輸運(yùn)特性1985.2.2 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器諧振腔特性2015.3 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器輻射特性及調(diào)控2035.3.1 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器波束特性2035.3.2 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器頻率特性2095.3.3 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器功率特性2125.4 太赫茲量子級(jí)聯(lián)激光器與超導(dǎo)熱電子混頻器的集成技術(shù)2135.4.1 2.5/2.7THz頻段高集成度超導(dǎo)接收機(jī)2135.4.2 2.9/3.5THz頻段基于量子級(jí)聯(lián)激光器的高分辨率頻譜儀2165.4.3 30THz頻段基于量子級(jí)聯(lián)激光器的高分辨率頻譜儀2285.5 小結(jié)與展望232參考文獻(xiàn)233索引243