本書(shū)以集成電路的發(fā)展歷程為主線, 結(jié)合發(fā)生的本書(shū)主要介紹集成電路制造的各種設(shè)備, 以青少年熟悉的“武林高手”的形式介紹主要集成電路制造設(shè)備, 如被稱為集成電路制造的“四大金剛”離子注入機(jī)、光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備。從這些設(shè)備在集成電路制造中的各自作用入手, 圖文并茂地圍繞“精”這個(gè)字, 體現(xiàn)集成電路制造設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性、復(fù)雜度和極具挑戰(zhàn)性的特點(diǎn), 一方面以青少年喜聞樂(lè)見(jiàn)的方式普及核心設(shè)備的基礎(chǔ)知識(shí), 另一方面引發(fā)他們未來(lái)從事集成電路制造設(shè)備研發(fā)的興趣。