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集成微納系統(tǒng)的前沿技術(shù) 21世紀(jì)微電子學(xué)專業(yè)規(guī)劃教材 微電子學(xué)是一門發(fā)展十分迅猛的學(xué)科,同時(shí)也是與新興的納米技術(shù)等結(jié)合十分緊密的交叉學(xué)科,因此越來(lái)越具有在尺度上是跨微米向納米甚至是深亞納米發(fā)展、在功能上是向著電子、機(jī)械以及生物等系統(tǒng)功能的集成方向發(fā)展,同時(shí)這也是一門十分典型的實(shí)驗(yàn)學(xué)科,需要結(jié)合大量的實(shí)驗(yàn)動(dòng)手才能夠掌握其精髓。所以我們的課程是《集成微納系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)班》,這本教材和課程的主旨一樣:主要針對(duì)微電子學(xué)的發(fā)展及時(shí)補(bǔ)充完善微電子學(xué)的范疇、同時(shí)結(jié)合實(shí)驗(yàn)教程來(lái)增進(jìn)學(xué)生的感性認(rèn)識(shí)、培養(yǎng)學(xué)生的動(dòng)手能力,彌補(bǔ)絕大多數(shù)同類教材只講授知識(shí)、不關(guān)注實(shí)驗(yàn)?zāi)芰η也患皶r(shí)更新其發(fā)展、不配有相應(yīng)習(xí)題的不足,為學(xué)生和老師提供一本能夠全面準(zhǔn)確掌握微電子基礎(chǔ)知識(shí)和能力的教科書。
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