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硅微機(jī)械陀螺誤差建模理論與方法 讀者對象:微機(jī)電系統(tǒng)工程(MEMS),傳感芯片技術(shù),微型角速率傳感器等專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)研究及工程應(yīng)用人員
本書共9章,以硅微機(jī)械陀螺為研究對象,通過數(shù)學(xué)物理方程推導(dǎo)微機(jī)電系統(tǒng)宏模型,采用對稱拓?fù)湓O(shè)計微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu),制訂簡單、高效的工藝加工微機(jī)械陀螺,根據(jù)精密控制、電學(xué)知識設(shè)計微機(jī)械陀螺測控電路,從而闡明硅微機(jī)械陀螺誤差產(chǎn)生機(jī)理,并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎,簡明扼要。
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