作為薄膜晶體管(TFT)技術(shù)的入門教材，本書以非晶硅薄膜晶體管（a-Si TFT)和多晶硅薄膜晶體管(p-Si TFT)為例詳細(xì)講解了與TFT技術(shù)相關(guān)的材料物理、器件物理和制備工藝原理及其在平板顯示中的應(yīng)用原理等。
本書共分7章。第1章簡(jiǎn)單介紹了薄膜晶體管的發(fā)展簡(jiǎn)史；第2章詳細(xì)闡述了TFT在平板顯示有源矩陣驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用原理；第3章深入講解了薄膜晶體管相關(guān)的半導(dǎo)體、絕緣體和電極材料物理；第4章詳細(xì)闡述了非晶硅TFT和多晶硅TFT器件物理的相關(guān)基礎(chǔ)知識(shí)；第5章系統(tǒng)介紹了TFT制備的單項(xiàng)工藝原理；第6章仔細(xì)講解了非晶硅TFT陣列和多晶硅TFT陣列工藝整合原理；第7章簡(jiǎn)單總結(jié)全書并展望了以a-IGZO TFT為代表的非晶氧化物薄膜晶體管技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。每章后附有習(xí)題，可供課堂練習(xí)或課后作業(yè)使用。
本書適合于作為大學(xué)本科生和研究生相關(guān)課程的教材，也適合針對(duì)從事TFT技術(shù)相關(guān)工作的工程技術(shù)人員作為技術(shù)培訓(xùn)和在職進(jìn)修的教材或參考書籍。