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變壓器局部放電內(nèi)置式聲電聯(lián)合檢測(cè) 本書闡述了變壓器內(nèi)置式超聲波局部放電(partial discharge, PD)的光纖非本征型法布里-珀羅干涉儀(extrinsicopticalfiberFabry- Perotinterferometer,EFPI)傳感耦合技術(shù)和基于微機(jī)電系統(tǒng)(micro- electro-mechanical systems,MEMS)敏感結(jié)構(gòu)膜片的優(yōu)化設(shè)計(jì)、絕緣體上硅(silicon-On-insulator, SOI)片制造工藝、法珀腔組裝與探頭封裝技術(shù),以及基于油閥特高頻傳感器的一體化設(shè)計(jì)、試驗(yàn)及工程應(yīng)用。
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