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光學(xué)非球面新型檢測(cè)原理與技術(shù)
本書結(jié)合光學(xué)測(cè)量技術(shù)的**發(fā)展,針對(duì)光學(xué)非球面,尤其是大口徑非球面和自由曲面的檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的探討,主要涉及技術(shù)起源與發(fā)展、原理、具體的實(shí)驗(yàn)裝置,以及相關(guān)的測(cè)量方法和精度。全書共分5章,第1章介紹了光學(xué)非球面的基本概念、描述及評(píng)價(jià)方法,并簡(jiǎn)要介紹了光學(xué)非球面檢測(cè)的經(jīng)典方法; 第2章介紹了基于激光束偏轉(zhuǎn)與逆向哈特曼的光學(xué)非球面幾何檢測(cè)方法; 第3章詳細(xì)介紹了部分補(bǔ)償法和數(shù)字莫爾移相干涉法; 第4章重點(diǎn)介紹了基于干涉檢測(cè)法的非球面參數(shù)誤差測(cè)量; 第5章探討了非球面干涉檢測(cè)動(dòng)態(tài)范圍擴(kuò)展的相關(guān)技術(shù)。
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