傳感器技術(shù)與通信技術(shù)、計算機(jī)技術(shù)共同構(gòu)成了信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱,是信息獲取的源頭,而智能傳感器是未來十年甚至二十年傳感器產(chǎn)業(yè)的主流形態(tài)。作為數(shù)字時代的感知層,智能傳感器是集成傳感芯片、通信芯片、微處理器、軟件算法等于一體的系統(tǒng)級產(chǎn)品,緊密銜接互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能與實體經(jīng)濟(jì),已成為支撐萬物互聯(lián)、萬事智聯(lián)的重要基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)。2020年,智能傳感器市場規(guī)模已達(dá)到358.1億美元,占總體規(guī)模的22.3%;隨著智能制造、物聯(lián)網(wǎng)、車聯(lián)網(wǎng)等相關(guān)行業(yè)的發(fā)展,全球?qū)χ悄軅鞲衅鳟a(chǎn)品的需求呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢,預(yù)計2023年市場規(guī)模將達(dá)487億美元。我國在智能硬件、消費電子、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、儀器儀表、工業(yè)自動化、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域擁有廣闊的智能傳感器應(yīng)用市場,國家高度重視智能傳感器為代表的電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2021年1月,工業(yè)和信息化部印發(fā)了《基礎(chǔ)電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃(2021-2023年)》,針對新型 MEMS 傳感器重點向小型化、低功耗、集成化發(fā)展,支持產(chǎn)、學(xué)、研合作,完善 MEMS 傳感器行業(yè)配套,優(yōu)化發(fā)展環(huán)境;2021年11月,工信部發(fā)布《"十四五”信息化和工業(yè)化深度融合發(fā)展規(guī)劃》,明確提出大力發(fā)展智能傳感器。智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展已處于重要戰(zhàn)略機(jī)遇期,對相關(guān)高等教育單位教學(xué)科研工作,以及研究型和應(yīng)用型人才培養(yǎng)提出了更加迫切的需求。本教材首先分別概述了傳感技術(shù)與檢測技術(shù),以及傳感器的選用原則;其次,從功能材料、加工工藝、器件類別的全新角度,介紹了傳統(tǒng)傳感器;再次,深入討論了智能傳感器及其信號處理、網(wǎng)絡(luò)通信和抗干擾技術(shù),以及智能檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、特點、理論、方法、可靠性等;最后,落腳智能無人系統(tǒng)應(yīng)用需求,以無人機(jī)、智能制造、元宇宙等應(yīng)用場景為例,探討了智能傳感與監(jiān)測系統(tǒng)的主要發(fā)展瓶頸、未來技術(shù)發(fā)展趨勢并預(yù)測產(chǎn)業(yè)市場。
吉博文,西北工業(yè)大學(xué)副教授,博士生導(dǎo)師,入選2023年度“翱翔新星”,長期從事可植入腦機(jī)接口傳感器、可穿戴柔性電子傳感器相關(guān)研究。獲上海交通大學(xué)博士學(xué)位,期間于美國西北大學(xué)聯(lián)合培養(yǎng),現(xiàn)為西北工業(yè)大學(xué)無人飛行器技術(shù)全國重點實驗室、無人機(jī)技術(shù)集成攻關(guān)大平臺、空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室學(xué)術(shù)骨干,主講課程包括智能傳感與檢測技術(shù)、智能傳感與檢測綜合實驗、智能人機(jī)交互與應(yīng)用實踐、柔性生物電子技術(shù)。
目 錄
第1章 概述 1
1.1 傳感技術(shù) 3
1.1.1 傳感器的定義與分類 3
1.1.2 傳感器的基本特性 4
1.1.3 傳感器的標(biāo)定與校準(zhǔn) 10
1.1.4 傳感器的選用原則 13
1.2 檢測技術(shù) 13
1.2.1 檢測技術(shù)的發(fā)展背景 13
1.2.2 檢測技術(shù)的基本概念 15
1.2.3 檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu) 15
1.2.4 傳感器的測量誤差 16
1.3 檢測數(shù)據(jù)的處理 18
1.3.1 檢測數(shù)據(jù)的表示 18
1.3.2 數(shù)據(jù)誤差的處理方法 21
1.4 傳感器與檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢 26
1.4.1 傳感器的發(fā)展趨勢 26
1.4.2 檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢 27
第2章 傳統(tǒng)傳感器 29
2.1 傳感器的功能材料 29
2.1.1 功能材料的分類與作用 30
2.1.2 半導(dǎo)體材料 31
2.1.3 功能陶瓷材料 33
2.1.4 功能高分子材料 34
2.1.5 納米材料 34
2.1.6 智能材料 35
2.2 傳感器的加工工藝 37
2.2.1 結(jié)構(gòu)型傳感器的加工工藝 38
2.2.2 厚膜工藝 38
2.2.3 薄膜工藝 39
2.2.4 微機(jī)械工藝 40
2.3 物理傳感器 40
2.3.1 電阻式傳感器 41
2.3.2 電感式傳感器 42
2.3.3 電容式傳感器 46
2.3.4 壓電式傳感器 49
2.3.5 磁電式傳感器 53
2.3.6 光電式傳感器 57
2.4 化學(xué)傳感器 65
2.4.1 氣體傳感器 65
2.4.2 濕度傳感器 69
2.5 生物傳感器 74
2.5.1 酶傳感器 77
2.5.2 微生物傳感器 78
2.5.3 免疫傳感器 79
2.5.4 核酸傳感器 81
2.5.5 細(xì)胞傳感器 84
2.5.6 生物芯片 85
2.5.7 生物傳感器的應(yīng)用 91
第3章 智能傳感器 95
3.1 智能傳感器概述 95
3.1.1 智能傳感器的基本功能與特點 96
3.1.2 智能傳感器的架構(gòu) 99
3.1.3 智能化實現(xiàn)方法 102
3.1.4 典型的智能傳感器 111
3.2 智能傳感器的標(biāo)準(zhǔn) 115
3.2.1 智能傳感器的標(biāo)準(zhǔn)概述 115
3.2.2 IEEE 1451網(wǎng)絡(luò)化智能傳感器標(biāo)準(zhǔn) 116
3.2.3 GB/T 33905 119
3.3 智能傳感器的可靠性 123
3.3.1 智能傳感器的可靠性概述 123
3.3.2 智能傳感器的可靠性設(shè)計方法 124
3.3.3 智能傳感器的可靠性試驗方法 126
3.3.4 智能傳感器的可靠性試驗標(biāo)準(zhǔn) 131
3.3.5 智能傳感器的可靠性提高方法 132
3.4 智能傳感器的信號調(diào)理技術(shù) 133
3.4.1 模擬式傳感器的信號調(diào)理 133
3.4.2 數(shù)字式傳感器的信號調(diào)理 139
3.5 智能傳感器核心電路 149
3.5.1 常用CPU 149
3.5.2 外圍電路模塊一:模數(shù)轉(zhuǎn)換器 154
3.5.3 外圍電路模塊二:數(shù)模轉(zhuǎn)換器 156
3.5.4 外圍電路模塊三:存儲器 158
第4章 智能傳感器的信號處理、通信和抗干擾技術(shù) 163
4.1 智能傳感器的信號處理技術(shù) 163
4.1.1 濾波技術(shù) 163
4.1.2 采樣技術(shù) 177
4.1.3 數(shù)據(jù)融合技術(shù) 180
4.2 智能傳感器的通信技術(shù) 197
4.2.1 現(xiàn)場總線通信技術(shù) 197
4.2.2 以太網(wǎng)通信技術(shù) 206
4.2.3 無線通信技術(shù) 211
4.2.4 其他通信技術(shù) 219
4.3 智能傳感器的抗干擾技術(shù) 221
4.3.1 干擾的種類 222
4.3.2 干擾的耦合方式 223
4.3.3 共模干擾與差模干擾 225
4.3.4 典型的抗干擾技術(shù) 227
第5章 智能檢測系統(tǒng) 234
5.1 智能檢測系統(tǒng)概述 234
5.1.1 智能檢測系統(tǒng)的典型結(jié)構(gòu) 235
5.1.2 智能檢測系統(tǒng)的特點 236
5.1.3 智能檢測系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu) 237
5.1.4 智能檢測系統(tǒng)的軟件結(jié)構(gòu) 238
5.2 智能檢測系統(tǒng)的典型算法 240
5.2.1 基于支持向量機(jī)的智能檢測 240
5.2.2 基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的智能檢測 244
5.2.3 基于深度學(xué)習(xí)的智能檢測 247
5.3 智能檢測系統(tǒng)領(lǐng)域的前沿技術(shù) 255
5.3.1 傳感器網(wǎng)絡(luò) 255
5.3.2 MEMS傳感器 264
5.3.3 微能源技術(shù) 274
5.4 智能檢測系統(tǒng)實例 285
5.4.1 物理傳感器的智能化——智能壓力傳感器 285
5.4.2 化學(xué)傳感器的智能化——智能化學(xué)傳感器陣列 293
5.4.3 生物傳感器的智能化——微流控芯片 299
第6章 無人系統(tǒng)領(lǐng)域的智能傳感與檢測應(yīng)用 306
6.1 面向無人機(jī)的智能傳感與檢測 306
6.1.1 無人機(jī)使用的傳感器 309
6.1.2 愛生無人機(jī)——“靈鵲”系列垂直起降無人機(jī) 309
6.1.3 “魅影”太陽能Wi-Fi無人機(jī)——移動的空中基站 311
6.1.4 “光動無人機(jī)”——永不著陸的飛行器 313
6.2 面向無人駕駛汽車的智能傳感與檢測 316
6.2.1 無人駕駛汽車的發(fā)展 316
6.2.2 自動駕駛分級 317
6.2.3 無人駕駛汽車的關(guān)鍵技術(shù) 318
6.2.4 無人駕駛汽車的測試方法 320
6.2.5 無人駕駛與智能傳感 322
6.3 面向無人水下航行器的智能傳感與檢測 323
6.3.1 單體系列化水下航行器 324
6.3.2 集群化水下航行器 329
6.3.3 體系化水下航行器 332
6.3.4 大型水下航行器 334
6.3.5 水下航行器的導(dǎo)航與定位技術(shù) 335
6.3.6 水下航行器的探測與通信技術(shù) 338
6.4 面向智能制造的智能傳感與檢測 339
6.4.1 智能制造概述 339
6.4.2 智能制造中的智能傳感器 340
6.5 面向元宇宙的智能傳感與檢測 344
6.5.1 元宇宙概述 344
6.5.2 元宇宙中的VR和AR設(shè)備 345
6.5.3 元宇宙中的感知交互技術(shù) 347
6.5.4 元宇宙與智能傳感器行業(yè)的發(fā)展關(guān)系 352
參考文獻(xiàn) 354