本書針對(duì)制造技術(shù)的最新進(jìn)展與需求,以微米尺度零件的加工為主線,力求使讀者能較為準(zhǔn)確地理解和掌握微機(jī)械與微細(xì)加工技術(shù)的基礎(chǔ)知識(shí)和常用微細(xì)加工方法的基本原理及應(yīng)用。主要內(nèi)容包括:微型機(jī)械與微細(xì)加工的基礎(chǔ)知識(shí);微細(xì)切削加工;半導(dǎo)體材料的微細(xì)加工技術(shù);微細(xì)電加工等微細(xì)特種加工技術(shù);高能束流微細(xì)特種加工技術(shù);納米加工技術(shù);生長(zhǎng)型微細(xì)加工技術(shù);典型微機(jī)械產(chǎn)品及其采用的微細(xì)加工技術(shù)等。 本書適合于研究生和高年級(jí)本科生及從事微細(xì)加工研究的教師和工程技術(shù)人員參考使用。也是相關(guān)人士了解最新微細(xì)加工技術(shù)的一本參考書�！�