本書共分6篇12章，系統介紹了微加工技術工藝原理和實驗教程。本書內容理論和實驗相結合，涵蓋了微加工技術工藝中的光刻、刻蝕、薄膜沉積、氧化和摻雜等工藝。理論部分著重對各種工藝技術的原理進行闡述。實驗部分列舉了光刻、刻蝕、薄膜制備和摻雜四大類工藝的單項實驗，器件制造工藝實驗和器件特性測量實驗。
本書對初步涉足這一領域的高等院校本科生、研究生以及相關科研人員、工程技術人員具有很好的參考價值，可作為高等院校微電子科學與技術、光電信息科學與工程、電子科學與技術、電子信息工程等專業(yè)本科生或研究生的相關課程教材。