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機(jī)械量傳感器與MEMS技術(shù)及應(yīng)用 讀者對(duì)象:本書可作為電子科學(xué)與技術(shù)、電氣工程及其自動(dòng)化、自動(dòng)化、測(cè)控技術(shù)與儀器、機(jī)械工程及自動(dòng)化、過程裝備與控制工程、探測(cè)制導(dǎo)與控制技術(shù)等專業(yè)科技工作者,以及工程技術(shù)管理人員的參考,也可供相關(guān)專業(yè)的大學(xué)高年級(jí)學(xué)生、研究生參考
本分冊(cè)介紹機(jī)械量傳感器及其應(yīng)用。包括傳感器靜態(tài)、動(dòng)態(tài)性能的評(píng)估,傳感器用基本彈性敏感元件的力學(xué)特性;機(jī)械量傳感器用到的變電阻、變電容、變電感、壓電式、諧振式等基本測(cè)量原理;力、力矩、速度、轉(zhuǎn)速、角速度、加速度、振動(dòng)、溫度、壓力以及流量傳感器等;機(jī)械量傳感器的典型應(yīng)用實(shí)例。
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