本分冊為叢書的專業(yè)分冊，本分冊重點(diǎn)講述氣體和濕度傳感器設(shè)計(jì)制作的基本原理、方法及其應(yīng)用。全書將氣體和濕度傳感技術(shù)分為三個(gè)方面：基礎(chǔ)原理、器件分類以及微系統(tǒng)應(yīng)用。本書首先闡述了氣體和濕度傳感器的基本概念，包括工作原理與結(jié)構(gòu)、主要性能參數(shù)、機(jī)理研究方法等；結(jié)合前沿研究進(jìn)展介紹了氣體和濕度敏感材料的合成方法與表征技術(shù)，以及不同納米結(jié)構(gòu)的敏感效應(yīng)；從表面加工工藝與體硅加工工藝兩方面介紹了氣體和濕度傳感器的關(guān)鍵MEMS工藝；在此基礎(chǔ)上分類介紹了多種氣體及濕度傳感器包括半導(dǎo)體原理、電化學(xué)原理、光學(xué)原理等，針對每種器件從基礎(chǔ)原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、工藝與性能參數(shù)等方面展開了詳細(xì)介紹；最后結(jié)合國防應(yīng)用特點(diǎn)，列舉了氣體和濕度傳感器在航空航天、地面武裝及海洋裝備等領(lǐng)域的應(yīng)用實(shí)例。