本書從表面科學(xué)的基本概念入手，圍繞表面科學(xué)與工程中的基本物理化學(xué)問題展開，主要敘述了固體表面特征、涂層與薄膜材料沉積制備的現(xiàn)代材料表面處理技術(shù)與應(yīng)用，著重以與表面密切相關(guān)的等離子體、電子束、激光束、離子束、低壓等離子體、輝光放電等先進(jìn)科學(xué)技術(shù)為基礎(chǔ)，結(jié)合涂層材料、薄膜材料的特點(diǎn)，涉及表面科學(xué)中與表面（界面）相關(guān)的基本理論，以及材料材料表面改性、先進(jìn)的薄膜氣相沉積技術(shù)與表面復(fù)合技術(shù)；并扼要介紹了表面測試分析研究方法等內(nèi)容。