第1章  緒論    1.1  微慣性器件發(fā)展歷史及技術(shù)現(xiàn)狀    1.2  微慣性器件應(yīng)用及發(fā)展方向    1.3  微慣性傳感器主要廠商及其特點(diǎn)  參考文獻(xiàn)第2章  振動(dòng)式硅微機(jī)械陀 第1章 緒論 1.1 微慣性器件發(fā)展歷史及技術(shù)現(xiàn)狀 1.2 微慣性器件應(yīng)用及發(fā)展方向 1.3 微慣性傳感器主要廠商及其特點(diǎn) 參考文獻(xiàn)第2章 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺 2.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的基本理論及模型 2.1.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的基本原理 2.1.2 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的典型結(jié)構(gòu) 2.1.3 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺動(dòng)力學(xué)方程 2.1.4 線振動(dòng)微機(jī)械陀螺的動(dòng)態(tài)輸出特性 2.1.5 小結(jié) 2.2 敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì) 2.2.1 材料特性 2.2.2 總體設(shè)計(jì) 2.2.3 關(guān)鍵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 2.3 信號(hào)檢測(cè)、處理和運(yùn)動(dòng)控制 2.3.1 微小電容檢測(cè)技術(shù) 2.3.2 信號(hào)處理與提取 2.3.3 陀螺運(yùn)動(dòng)控制 2.4 測(cè)試技術(shù) 2.4.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺主要指標(biāo) 2.4.2 測(cè)試方法 2.4.3 數(shù)據(jù)處理 參考文獻(xiàn)第3章 硅微機(jī)械加速度計(jì) 3.1 硅微撓性加速度計(jì) 3.1.1 梳齒式電容加速度計(jì) 3.1.2 “蹺蹺板”擺式電容加速度計(jì) 3.1.3 “三明治”擺式電容加速度計(jì) 3.2 硅微諧振式加速度計(jì) 3.2.1 工作原理 3.2.2 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 3.2.3 系統(tǒng)組成 3.3 硅微靜電懸浮式加速度計(jì) 3.3.1 工作原理 3.3.2 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 3.3.3 系統(tǒng)組成 參考文獻(xiàn)第4章 微型氣流式陀螺 4.1 工作原理及模型 4.1.1 對(duì)流換熱原理 4.1.2 熱敏元件的檢測(cè)方法 4.1.3 系統(tǒng)信號(hào)檢測(cè)電路 4.2 微型熱對(duì)流陀螺 4.2.1 器件結(jié)構(gòu)和工作原理 4.2.2 系統(tǒng)建模及數(shù)值模擬 4.2.3 陀螺加工工藝 4.2.4 交叉耦合效應(yīng)及補(bǔ)償技術(shù) 4.3 微型射流陀螺 4.3.1 器件結(jié)構(gòu)和工作原理 4.3.2 數(shù)值模擬分析方法 4.3.3 陀螺加工工藝 4.4 總結(jié) 參考文獻(xiàn)第5章 MEMS熱對(duì)流加速度傳感器 5.1 熱對(duì)流加速度傳感器工作原理 5.2 計(jì)算機(jī)仿真與分析 5.2.1 線性度分析 5.2.2 靈敏度分析 5.3 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制作工藝 5.4 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器 5.4.1 三軸熱對(duì)流加速度傳感器工作機(jī)理 5.4.2 三軸熱對(duì)流加速度傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 5.4.3 三維流體場(chǎng)的計(jì)算機(jī)仿真 5.4.4 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器三維立體加工 5.4.5 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器的封裝 5.5 檢測(cè)電路 5.5.1 加熱器溫度控制電路的模型和控制電路 5.5.2 加速度信號(hào)檢測(cè)電路 參考文獻(xiàn)第6章 微慣性系統(tǒng)技術(shù) 6.1 微慣性測(cè)量單元(MIMu)的基本概念和組成 6.1.1 MIMU的發(fā)展現(xiàn)狀 6.1.2 MIMU的組成 6.2 MIMU的基本種類(lèi)和工作原理 6.2.1 微機(jī)械航姿參考系統(tǒng) 6.2.2 微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng) 6.2.3 微慣性衛(wèi)星組合導(dǎo)航系統(tǒng) 6.2.4 無(wú)陀螺捷聯(lián)導(dǎo)航系統(tǒng) 6.2.5 多傳感器融合系統(tǒng) 6.2.6 多軸單片集成系統(tǒng) 6.3 MIMU的應(yīng)用和發(fā)展 6.3.1 武器裝備 6.3.2 航空航天 6.3.3 車(chē)輛 6.3.4 船舶 6.3.5 石油勘探 6.3.6 機(jī)器人 6.3.7 醫(yī)療健康 6.3.8 消費(fèi)電子 參考文獻(xiàn)