《中外物理學精品書系·前沿系列15:硅基光電子學》是筆者在微納光電子領域多年研究和教學基礎上完成的,系統(tǒng)描述了硅基光電子學的基礎理論、器件原理及應用前景。全書共10章。第1~3章講述了硅基光電子學的起源及所需的基本知識;第4章介紹了硅基無源器件;第5~8章為硅基有源器件,包括光源、調(diào)制器、探測器、表面等離子體激元器件等;第9章介紹器件工藝與系統(tǒng)集成;第10章探討了硅基光電子學的應用。
《中外物理學精品書系·前沿系列15:硅基光電子學》可作為高等院校電子學、光電子學、物理電子學、微電子與固體電子學、通信與信息系統(tǒng)、計算機技術等專業(yè)高年級本科生和研究生相關課程的教材。對于在相關領域內(nèi)工作的研究人員和工程技術人員,《中外物理學精品書系·前沿系列15:硅基光電子學》也是一本有用的參考書。
周治平,北京大學信息科學技術學院教授,長江學者特聘教授,SPIE Fellow IET Fellow.中國光學學會第六、第七屆理事會理事,IEEE中國武漢分會創(chuàng)會主席(2006-2008)。1993年獲美國喬治亞理工學院博士學位。長期從事微納光電子器件及其集成技術的研究和開發(fā),在硅基光源、納米光柵、光電調(diào)制、光學傳感、光子晶體、表面等離子體器件及硅基集成技術等方面有獨創(chuàng)性成果。發(fā)表論文、特邀報告270余篇,參編書籍5部,擁有國際國內(nèi)專利15項。講授過現(xiàn)代電子通信、集成電路、光電子學、硅基光電子學等課程。
第一章 緒論
§1.1 從微電子到光電子
§1.2 硅基光電子學的發(fā)展
§1.3 硅基光電子學的應用
§1.4 總結
參考文獻
第二章 硅中光子與電子的相互作用
§2.1 波動光學與光子光學
§2.2 半導體能帶結構
§2.3 硅基光子晶體帶隙結構
§2.4 硅中光子與載流子的相互作用
參考文獻
第三章 硅基光波導
§3.1 電磁理論基礎
§3.2 光波導基本理論
§3.3 波導耦合理論
§3.4 SOl光波導
參考文獻
第四章 硅基無源器件
§4.1 光柵器件
§4.2 光子晶體平板波導
§4.3 多模干涉耦合器
§4.4 陣列波導光柵
§4.5 微環(huán)諧振腔
§4.6 總結
參考文獻
第五章 硅基光源
§5.1 光發(fā)射的基礎理論
§5.2 硅放大的限制
§5.3 硅基發(fā)光材料
§5.4 硅基發(fā)光二極管
§5.5 硅基激光器
§5.6 總結
參考文獻
第六章 硅基光學調(diào)制
§6.1 光學調(diào)制原理
§6.2 光學調(diào)制評價
§6.3 硅基電光調(diào)制
§6.4 硅基熱光調(diào)制
§6.5 硅基聲光調(diào)制
參考文獻
第七章 硅基光電探測器
§7.1 光電探測器的基本原理
§7.2 光電探測器的特性和結構
§7.3 硅光電探測器
§7.4 鍺硅光電探測器
§7.5 總結
參考文獻
第八章 硅基表面等離子激元器件
§8.1 表面等離子激元概述
§8.2 表面等離子激元局域增強特性
§8.3 表面等離子體激元器件
§8.4 總結
參考文獻
第九章 硅基光電子器件工藝與系統(tǒng)集成
§9.1 平面工藝
§9.2 薄膜制備
§9.3 光刻技術
§9.4 刻蝕技術
§9.5 系統(tǒng)集成
§9.6 總結
參考文獻
……
第十章 硅基光電子學的應用