第1章緒論
　　半導(dǎo)體工藝與測試實(shí)驗(yàn)是微電子學(xué)專業(yè)的基礎(chǔ)課程，圍繞半導(dǎo)體材料、器件、工藝等環(huán)節(jié)開設(shè).根據(jù)微電子學(xué)專業(yè)的培養(yǎng)目標(biāo)，實(shí)驗(yàn)教學(xué)將為學(xué)生在電子器件領(lǐng)域從事工程技術(shù)工作和科學(xué)研究提供系統(tǒng)的實(shí)踐訓(xùn)練.學(xué)生在實(shí)驗(yàn)的學(xué)習(xí)過程中，要有意識地提高科學(xué)實(shí)驗(yàn)素養(yǎng)，具有強(qiáng)烈的求知欲望、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)態(tài)度以及勇于探索的鉆研精神.本章是實(shí)驗(yàn)的預(yù)備知識，內(nèi)容安排如下： 1-1節(jié)和1-2節(jié)闡述本實(shí)驗(yàn)課程中兩大部分實(shí)驗(yàn)的目的與要求；1-3節(jié)介紹潔凈實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境；1-4節(jié)提出學(xué)生進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室學(xué)習(xí)的安全與注意事項(xiàng).1-1實(shí) 驗(yàn) 目 的隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，社會對大學(xué)生的素質(zhì)要求也不斷提高，微電子學(xué)專業(yè)的學(xué)生不但要掌握集成電路的基本理論知識，而且還要掌握基本的實(shí)驗(yàn)技能，并具有一定的科學(xué)研究能力.
　　半導(dǎo)體工藝與測試實(shí)驗(yàn)是一門實(shí)踐性、技術(shù)性較強(qiáng)的專業(yè)實(shí)驗(yàn)課，是微電子學(xué)專業(yè)教學(xué)內(nèi)容必不可少的一部分.同時也是理論教學(xué)的深化和補(bǔ)充，鞏固和加深學(xué)生對所學(xué)的半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體物理、半導(dǎo)體器件、集成電路原理和微加工技術(shù)等專業(yè)課程的理解，進(jìn)一步鞏固相關(guān)理論知識，為從事電子器件設(shè)計與制造打下良好的基礎(chǔ).本課程通過半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)，加深學(xué)生對整個半導(dǎo)體器件制造工藝的了解，培養(yǎng)學(xué)生的動手能力和半導(dǎo)體器件工藝流程設(shè)計的能力，并提高學(xué)生獨(dú)立分析問題、解決問題的能力；通過半導(dǎo)體材料與器件特性表征實(shí)驗(yàn)，使對半導(dǎo)體材料性能參數(shù)、半導(dǎo)體表面及界面態(tài)的測量、半導(dǎo)體器件電學(xué)參數(shù)的觀測等實(shí)驗(yàn)手段有較深入的認(rèn)識，了解和掌握有關(guān)半導(dǎo)體材料和器件特性檢測方面的基本方法和實(shí)驗(yàn)手段，提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)技能；通過綜合實(shí)驗(yàn)，利用TCAD(Technology Computer Aided Design)仿真軟件對工藝和器件進(jìn)行仿真、設(shè)計，擴(kuò)展對實(shí)驗(yàn)局限性的認(rèn)識，探討現(xiàn)代工藝和器件的主要改進(jìn)方向.最后從器件設(shè)計、集成制備、表征檢測等方面完成半導(dǎo)體器件項(xiàng)目的流程綜合訓(xùn)練，著重培養(yǎng)學(xué)生的綜合設(shè)計和創(chuàng)新能力.