本書內容包括：薄膜光學特性的理論計算，常見介質膜系及其設計，真空鍍膜技術，常見光學薄膜材料，光學薄膜的結構與特性，光學薄膜特性檢測技術，光學功能薄膜的應用研究。全書內容翔實，概念清楚，層次分明，實用性強，可供光學薄膜和其他薄膜領域研究人員、技術人員、各類從業(yè)人員參考，也可供薄膜元件的應用者或其他相關人員參考。

本書重點介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學基金、國防預研基金、重點實驗室基金等一系列基礎研究項目的支持下，在物理氣相沉積硬質薄膜強韌化方法、理論、表征及強韌化薄膜應用領域的研究成果。主要論述了如何制備和表征具有強、韌性能的薄膜，包括薄膜的制備方法，薄膜強化技術，薄膜韌化技術，薄膜的強韌性能表征，薄膜內應力，強韌化薄膜實例。