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薄膜晶體管液晶顯示器顯示原理與設(shè)計(jì)(全彩)
本書基于薄膜晶體管液晶顯示器的生產(chǎn)和設(shè)計(jì)實(shí)踐,首先介紹了薄膜晶體管液晶顯示器的基本概念和器件原理,然后以產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的角度從面板設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng)、液晶盒顏色設(shè)計(jì)、液晶光學(xué)設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)和機(jī)構(gòu)光學(xué)設(shè)計(jì)方面的基礎(chǔ)內(nèi)容進(jìn)行了詳細(xì)介紹,接著介紹了顯示器的性能測(cè)試方法,最后再介紹了陣列、彩膜、液晶盒和模組四大工藝制程。
序
互聯(lián)網(wǎng)正像水和空氣一樣,日益成為人們工作、生活不可或缺的媒介,其與各行各業(yè)的融合,正深刻地改變著人類社會(huì)及其生態(tài),其背后推動(dòng)力量之一就是顯示技術(shù)的進(jìn)步。 CRT技術(shù)推動(dòng)了人類歷史上第一次顯示革命,拓展了人類社會(huì)信息傳遞、交流的范圍和形式。以TFT-LCD技術(shù)為代表的新型顯示技術(shù),推動(dòng)了顯示領(lǐng)域的第二次革命,在實(shí)現(xiàn)信息傳遞方式多樣性、顯示品質(zhì)高質(zhì)化的同時(shí),讓任何時(shí)間、地點(diǎn)、人、設(shè)備、網(wǎng)絡(luò)、數(shù)據(jù)的交互成為現(xiàn)實(shí),催生了互聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的到來(lái)。TFT-LCD等新型顯示技術(shù)的共同基礎(chǔ)是半導(dǎo)體技術(shù),我前些年提出將TFT-LCD、AMOLED、柔性顯示、立體顯示、虛擬實(shí)境等新型顯示技術(shù)統(tǒng)稱為“半導(dǎo)體顯示技術(shù)”。半導(dǎo)體顯示技術(shù)和產(chǎn)品可以持續(xù)改善用戶體驗(yàn),其新技術(shù)、新材料、新工藝的不斷進(jìn)化,還可為系統(tǒng)產(chǎn)品提供集成和創(chuàng)新平臺(tái),從而改變信息產(chǎn)業(yè)生態(tài)和商業(yè)模式。正因?yàn)槿绱,日、韓等國(guó)家和我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)將該產(chǎn)業(yè)定位為國(guó)家/地區(qū)重要戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè);美歐國(guó)家仍在核心材料、裝備及下一代延伸技術(shù)方面給予了戰(zhàn)略性關(guān)注和投入。 這場(chǎng)顯示革命對(duì)中國(guó)影響巨大。20世紀(jì)80年代,國(guó)家將CRT作為發(fā)展電子信息產(chǎn)業(yè)的重要突破口,并取得重大成功;但在TFT-LCD取代CRT的第二次革命過(guò)程中,我們比其他國(guó)家起步晚了近十年,經(jīng)歷了“缺芯少屏”之痛?上驳氖,自2003年以來(lái),京東方、天馬、龍騰、華星光電、中電熊貓等中國(guó)顯示器件制造企業(yè),歷經(jīng)磨難,奮斗拼搏,成功進(jìn)入了半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,擁有了4.5代、5代、6代和8.5代TFT-LCD生產(chǎn)線,5.5代AMOLED的產(chǎn)線也已經(jīng)建成投產(chǎn),年新增專利申請(qǐng)數(shù)量也位居全球前列。上游材料和設(shè)備的本地化配套快速進(jìn)展,改善了下游整機(jī)企業(yè)關(guān)鍵部件的本地化配套環(huán)境。我國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)的全球影響力和競(jìng)爭(zhēng)力不斷上升,已經(jīng)成為全球半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的一支重要力量。 中國(guó)半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期,產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)薄弱,加上過(guò)山車般周期影響,價(jià)格大起大落,日子艱難。在這一階段,為了能生存下去,我在2010年初提出:標(biāo)準(zhǔn)顯示屏價(jià)格每36個(gè)月會(huì)下降50%,若保持價(jià)格不變,顯示產(chǎn)品性能必須提升一倍以上。這一周期還將繼續(xù)縮短。我將其稱為“生存定律”,核心內(nèi)涵就是持續(xù)創(chuàng)新才能生存發(fā)展。遵循這一定律,中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)渡過(guò)了艱難階段,實(shí)現(xiàn)了良性發(fā)展。創(chuàng)新是發(fā)展的根本推動(dòng)力。 隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能產(chǎn)業(yè)的興起,顯示技術(shù)正迎來(lái)新的應(yīng)用浪潮。車載、工控、醫(yī)療、穿戴、公共顯示、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)等將成為新一波應(yīng)用浪潮的主力軍。在新技術(shù)、新應(yīng)用引領(lǐng)下,全球顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景依然廣闊。 十余年磨一劍,顯示產(chǎn)業(yè)是目前我國(guó)為數(shù)不多的有可能處于世界領(lǐng)先地位的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)之一,但依然面臨著各種挑戰(zhàn)。從模仿性創(chuàng)新邁向顛覆性創(chuàng)新,搶占未來(lái)顯示技術(shù)制高點(diǎn),是我們必須要跨越的一關(guān)。我們不能滿足于現(xiàn)狀,必須不斷創(chuàng)新觀念、技術(shù)和應(yīng)用,引領(lǐng)這個(gè)變革的新時(shí)代,為中國(guó),為整個(gè)世界! 實(shí)現(xiàn)上述愿景,需要政府、企業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)等各界攜手努力。在人才培養(yǎng)和知識(shí)普及方面,更需要走在前面。廖燕平、宋勇志、邵喜斌、劉磊和陳東川等京東方同仁們?cè)诜泵ぷ髦啵珜懥恕侗∧ぞw管液晶顯示器顯示原理與設(shè)計(jì)》一書,供有志于顯示產(chǎn)業(yè)的學(xué)生、工程技術(shù)和管理人員參考。這本書以產(chǎn)業(yè)人學(xué)習(xí)的視角,側(cè)重實(shí)際應(yīng)用,對(duì)液晶顯示器的基本概念、面板設(shè)計(jì)、工藝制程各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行了介紹。相信此書對(duì)顯示產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)會(huì)有所幫助。 我愿意向有志于顯示領(lǐng)域的青年學(xué)生、科研人員、業(yè)內(nèi)伙伴和各界人士推薦這本書。這不僅是一本書,也是幾代中國(guó)科技工作者和產(chǎn)業(yè)人發(fā)展中國(guó)自主技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的夢(mèng)想和情懷。 京東方科技集團(tuán)董事長(zhǎng) 2016年3月18日 前 言 平板顯示產(chǎn)業(yè)在中國(guó)大陸迅猛發(fā)展,一方面更多的大學(xué)畢業(yè)生涌入面板制造企業(yè),另一方面也給員工提供了更多的發(fā)展空間,但迫切需要解決的是如何讓新入職員工快速掌握崗位基本技能,如何讓技術(shù)管理干部具有全方位的技術(shù)基礎(chǔ)能力。本書就是基于這個(gè)背景,從液晶顯示的基本概念、基本原理出發(fā),涵蓋了薄膜晶體管的材料和器件特性、薄膜晶體管設(shè)計(jì)、液晶盒設(shè)計(jì)、驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)、機(jī)構(gòu)光學(xué)設(shè)計(jì),以及器件測(cè)試和四大工藝制程的相關(guān)內(nèi)容,讓讀者全方位、全角度地理解液晶顯示器的基本知識(shí)。 基于本書的內(nèi)容結(jié)構(gòu),第1章介紹了液晶顯示器的基本知識(shí),包括立體顯示的基本概念;第2章介紹了薄膜晶體管的材料與器件特性;第3章介紹了液晶面板的設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng);第4章和第5章分別介紹了液晶盒設(shè)計(jì)相關(guān)的顏色設(shè)計(jì)和液晶光學(xué)設(shè)計(jì);第6章介紹了驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì);第7章介紹了液晶模組的機(jī)構(gòu)與光學(xué)設(shè)計(jì);第8章介紹了液晶顯示器的性能測(cè)試;第9章到第12章分別介紹了陣列、彩膜、成盒和模組四大工藝制程;附錄A介紹了薄膜晶體管器件參數(shù)提取與實(shí)例;附錄B介紹了掩模版版圖設(shè)計(jì)驗(yàn)證工具與應(yīng)用。 本書的撰寫,是我們幾位作者在繁忙的工作之外,以犧牲大量的業(yè)余和休息時(shí)間才完成的。此外,本書的每個(gè)章節(jié),還得到了相關(guān)崗位的專家或資深工程師的幫助,在此表示誠(chéng)摯的感謝:(1)工藝制程章節(jié),感謝袁劍峰、許朝欽(中國(guó)臺(tái)灣)、陳信誠(chéng)(中國(guó)臺(tái)灣)、陳宇鵬、郭宏雁、董天松、郭會(huì)斌、王守坤、周波、馬國(guó)靖、吳洪江、汪棟、萬(wàn)冀豫、黃常剛、儲(chǔ)小亮和張紀(jì)等同事;(2)器件性能測(cè)試章節(jié),感謝劉冬和陳維濤等同事;(3)設(shè)計(jì)章節(jié),感謝張振宇、高玉杰、王寶強(qiáng)、閆巖、夏天宇、商廣良、占紅明、林麗峰、杜玙蕃、陳明、栗首、汪建明、郝衛(wèi)、冷長(zhǎng)林、周昊、張偉、賈麗麗、黃應(yīng)龍和呂敬等同事;(4)基本概念和器件章節(jié),感謝王夢(mèng)杰、武延兵、林洪濤、袁劍峰和薛建設(shè)等同事;(5)附錄A器件參數(shù)提取章節(jié),感謝Silvaco的常志強(qiáng);(6)附錄B設(shè)計(jì)驗(yàn)證章節(jié),感謝華大九天的常江和李曉坤。最后,感謝上海大學(xué)新型顯示技術(shù)及應(yīng)用集成教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)支持。 本書由北京交通大學(xué)/北京京東方顯示技術(shù)有限公司的廖燕平主要編寫,由北京京東方顯示技術(shù)有限公司的宋勇志、邵喜斌(研究員)、劉磊和陳東川協(xié)助編寫,由北京交通大學(xué)的張希清(教授)和上海大學(xué)的張建華(教授)審校。本書順利出版,感謝北京市優(yōu)秀人才培養(yǎng)和北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)費(fèi)資助,感謝公司領(lǐng)導(dǎo)的大力支持。本書撰寫過(guò)程中,雖然我們力求盡善盡美,但是才學(xué)畢竟有限,不妥或疏漏之處在所難免,懇請(qǐng)讀者批評(píng)指正。 作者 2016年3月于北京
廖燕平,男,漢族,2007年4月畢業(yè)于中科院長(zhǎng)春光機(jī)與物理所,獲得博士學(xué)位。畢業(yè)后,一直從事薄膜晶體管液晶顯示器的研究與開(kāi)發(fā),先后發(fā)表論文二十余篇,申請(qǐng)專利十余項(xiàng)。自2009年10月入職北京京東方以來(lái),一直從事大尺寸、高分辨率液晶顯示器的技術(shù)開(kāi)發(fā)和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)。期間開(kāi)創(chuàng)性地完成了京東方自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超維場(chǎng)顯示在110英寸4K產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中的陣列和彩膜面板的拼接設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了超大尺寸、超高分辨率掩膜版的拼接設(shè)計(jì)技術(shù);完成了業(yè)內(nèi)尺寸大、分辨率高的98英寸8K液晶顯示陣列和彩膜面板拼接設(shè)計(jì);創(chuàng)新性地提出鏡像掃描驅(qū)動(dòng)技術(shù)優(yōu)化了超大尺寸面板的畫質(zhì)。以作者身份分別在IMID2013和IMID2014國(guó)際會(huì)議上發(fā)表了110英寸和98英寸(邀請(qǐng)報(bào)告)顯示器產(chǎn)品相關(guān)研究開(kāi)發(fā)成果,并且是IMID“Large Area Display”和“Image Quality Evaluation and Enhancement”分會(huì)委員。獲得2015年度北京市科技獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)(排名第五)。
第1章 液晶顯示的基本概念 1
1.1 液晶簡(jiǎn)介 1 1.2 液晶的特性 2 1.2.1 電學(xué)各向異性 2 1.2.2 光學(xué)各向異性 3 1.2.3 力學(xué)特性 4 1.2.4 其他特性 4 1.3 偏光片 5 1.3.1 偏光片的基本原理 5 1.3.2 偏光片的基本構(gòu)成 6 1.3.3 偏光片的參數(shù) 9 1.3.4 偏光片的表面處理 11 1.4 玻璃基板 12 1.5 液晶顯示的基本原理 12 1.5.1 液晶顯示器的基本結(jié)構(gòu) 12 1.5.2 液晶顯示原理 13 1.6 顯示器的光電特性 14 1.6.1 透過(guò)率 14 1.6.2 對(duì)比度 15 1.6.3 響應(yīng)時(shí)間 15 1.6.4 視角 16 1.6.5 色域 16 1.6.6 色溫 17 1.7 畫質(zhì)改善技術(shù) 17 1.7.1 量子點(diǎn)技術(shù) 17 1.7.2 高動(dòng)態(tài)范圍圖像技術(shù) 18 1.7.3 局域調(diào)光技術(shù) 18 1.7.4 姆拉擦除技術(shù) 19 1.7.5 運(yùn)動(dòng)圖像補(bǔ)償技術(shù) 19 1.7.6 幀頻轉(zhuǎn)換技術(shù) 20 1.8 立體顯示技術(shù)原理 21 1.8.1 雙眼視差 21 1.8.2 立體顯示技術(shù)分類 23 1.8.3 眼鏡式3D顯示技術(shù) 24 1.8.4 裸眼3D顯示技術(shù) 28 1.8.5 3D顯示的主要問(wèn)題 33 第2章 氫化非晶硅薄膜晶體管材料與器件特性 34 2.1 氫化非晶硅薄膜的特點(diǎn) 34 2.1.1 原子排列和電子的態(tài)密度 34 2.1.2 氫化非晶硅的導(dǎo)電機(jī)理 37 2.1.3 氫化非晶硅的亞穩(wěn)定性 39 2.2 絕緣層材料的特點(diǎn) 40 2.2.1 氮化硅 41 2.2.2 氧化硅 41 2.2.3 絕緣層的導(dǎo)電機(jī)理 42 2.3 薄膜沉積 45 2.3.1 概述 46 2.3.2 a-Si:H薄膜的沉積 46 2.3.3 a-Si:H薄膜的影響因素 47 2.3.4 n+ a-Si:H薄膜的沉積 52 2.3.5 絕緣層薄膜的沉積 52 2.3.6 薄膜的界面效應(yīng) 55 2.4 薄膜刻蝕 57 2.4.1 導(dǎo)電薄膜的刻蝕 57 2.4.2 功能薄膜的刻蝕 58 2.5 TFT器件結(jié)構(gòu)與特點(diǎn) 59 2.5.1 底柵結(jié)構(gòu) 60 2.5.2 頂柵結(jié)構(gòu) 62 2.5.3 器件基本特性 62 2.6 器件電學(xué)性能的不穩(wěn)定性 65 2.7 薄膜評(píng)價(jià)方法 66 2.7.1 傅里葉變換紅外光譜 66 2.7.2 紫外線-可見(jiàn)光譜 67 2.7.3 恒定光電流方法 68 2.7.4 拉曼光譜 69 2.7.5 橢偏儀 69 第3章 液晶面板設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng) 70 3.1 顯示屏的構(gòu)成 70 3.1.1 顯示區(qū) 70 3.1.2 密封區(qū) 76 3.1.3 襯墊區(qū) 77 3.1.4 特征標(biāo)記 78 3.2 玻璃基板上薄膜的邊界條件 79 3.2.1 彩膜基板上的邊界條件 79 3.2.2 陣列基板上的邊界條件 80 3.3 液晶顯示模式與原理 80 3.3.1 液晶顯示模式 80 3.3.2 液晶顯示光閥原理 82 3.4 曝光工藝技術(shù) 85 3.4.1 掩模版 85 3.4.2 曝光機(jī)類型 86 3.4.3 光刻工藝 87 3.4.4 五次/四次光刻工藝過(guò)程 88 3.4.5 光透過(guò)率調(diào)制掩模版技術(shù) 89 3.5 像素設(shè)計(jì)原理 91 3.5.1 電容 91 3.5.2 像素中電阻計(jì)算 100 3.5.3 TFT性能要求 101 3.5.4 像素充電率模擬 105 3.6 面板的驅(qū)動(dòng) 107 3.6.1 面板的電路驅(qū)動(dòng)原理圖 107 3.6.2 極性反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 108 3.7 GOA驅(qū)動(dòng)原理 113 3.7.1 GOA基本概念 113 3.7.2 GOA工作原理 114 3.7.3 GOA設(shè)計(jì) 120 3.7.4 GOA的模擬仿真 126 3.7.5 GOA設(shè)計(jì)的其他考慮 131 第4章 液晶顯示顏色基礎(chǔ) 132 4.1 色度基礎(chǔ) 132 4.1.1 可見(jiàn)光譜 132 4.1.2 輻射度與光度 133 4.1.3 顏色的辨認(rèn) 135 4.1.4 顏色三要素 136 4.2 顏色的表征 138 4.2.1 格拉斯曼混合定律 138 4.2.2 光譜三刺激值 139 4.2.3 色坐標(biāo)計(jì)算 144 4.2.4 均勻色度系統(tǒng)及色差 146 4.3 液晶顯示的顏色參數(shù)及計(jì)算 148 4.3.1 顏色再現(xiàn)原理 148 4.3.2 色坐標(biāo)和亮度計(jì)算 148 4.3.3 灰階與色深 150 4.3.4 色域計(jì)算 150 4.3.5 色溫計(jì)算 152 第5章 液晶光學(xué)設(shè)計(jì)基礎(chǔ) 154 5.1 概述 154 5.1.1 液晶盒的主要參數(shù) 154 5.1.2 常見(jiàn)的液晶顯示模式 155 5.2 透過(guò)率 156 5.2.1 液晶光學(xué)偏振原理 156 5.2.2 不同顯示模式的透過(guò)率 168 5.3 對(duì)比度和視角 176 5.3.1 對(duì)比度和視角的影響因素 176 5.3.2 不同模式下的對(duì)比度和視角 178 5.4 閾值電壓和響應(yīng)時(shí)間 183 5.4.1 液晶電學(xué)和力學(xué)原理 183 5.4.2 不同顯示模式的閾值電壓和響應(yīng)時(shí)間 186 5.5 工作溫度對(duì)液晶的影響 189 5.6 液晶參數(shù)對(duì)顯示影響概述 190 第6章 驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)基礎(chǔ) 191 6.1 模組驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng) 191 6.1.1 OC的驅(qū)動(dòng)電路 191 6.1.2 LED背光源的驅(qū)動(dòng)電路 193 6.2 電源管理集成電路 196 6.2.1 Buck電路 197 6.2.2 Boost電路 198 6.2.3 Buck-Boost電路 200 6.2.4 LDO電路 201 6.2.5 電荷泵電路 202 6.2.6 VCOM電路 204 6.2.7 多階柵驅(qū)動(dòng)電路 204 6.3 時(shí)序控制器 205 6.3.1 時(shí)序控制器概述 205 6.3.2 接口信號(hào)特點(diǎn) 207 6.3.3 LVDS接口 210 6.3.4 eDP接口 213 6.3.5 mini-LVDS接口 213 6.3.6 Point to Point接口 215 6.3.7 V-by-One接口 215 6.4 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)集成電路 216 6.4.1 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)集成電路概述 216 6.4.2 雙向移位寄存器 218 6.4.3 數(shù)據(jù)緩沖器 219 6.4.4 電平轉(zhuǎn)換器 220 6.4.5 數(shù)模轉(zhuǎn)換器 221 6.4.6 緩沖器和輸出多路轉(zhuǎn)換器 222 6.4.7 預(yù)充電電路 223 6.4.8 電荷分享電路 224 6.5 掃描驅(qū)動(dòng)集成電路 225 6.5.1 掃描驅(qū)動(dòng)集成電路概述 225 6.5.2 掃描驅(qū)動(dòng)集成電路時(shí)序 226 6.5.3 XAO電路 226 6.6 Gamma電路與調(diào)試 227 6.6.1 Gamma電路 228 6.6.2 Gamma數(shù)值計(jì)算 229 6.6.3 Gamma電壓調(diào)試 229 6.7 ACC調(diào)試 232 6.8 ODC調(diào)試 233 6.9 電視整機(jī)電路驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)概述 235 第7章 機(jī)構(gòu)光學(xué)設(shè)計(jì)基礎(chǔ) 240 7.1 熒光燈光源 241 7.2 發(fā)光二極管光源 243 7.2.1 LED的基本特點(diǎn) 243 7.2.2 LED的分類與光譜 245 7.2.3 LED的I-V特性 247 7.2.4 LED的輻射參數(shù) 248 7.2.5 LED的光電特性 250 7.3 光學(xué)膜材 253 7.3.1 反射片 254 7.3.2 導(dǎo)光板 254 7.3.3 擴(kuò)散板 257 7.3.4 擴(kuò)散片 257 7.3.5 棱鏡片 258 7.3.6 反射型偏光增亮膜 260 7.4 背光模組結(jié)構(gòu) 261 7.4.1 直下式背光結(jié)構(gòu) 262 7.4.2 側(cè)光式背光結(jié)構(gòu) 262 7.5 機(jī)構(gòu)部品材料特點(diǎn) 264 7.5.1 金屬部品的特點(diǎn) 264 7.5.2 非金屬部品的特點(diǎn) 265 7.5.3 機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)對(duì)散熱的影響 265 7.5.4 包裝材料的特點(diǎn) 265 7.6 能耗標(biāo)準(zhǔn) 266 第8章 液晶顯示器性能測(cè)試 268 8.1 TFT電學(xué)性能測(cè)試 268 8.1.1 TFT特性參數(shù)測(cè)試儀 268 8.1.2 被測(cè)樣品準(zhǔn)備 269 8.1.3 參數(shù)定義 269 8.1.4 TFT轉(zhuǎn)移特性曲線測(cè)試 270 8.1.5 TFT輸出特性曲線測(cè)試 273 8.1.6 TFT的光偏壓應(yīng)力測(cè)試 274 8.1.7 TFT的熱偏壓應(yīng)力測(cè)試 275 8.1.8 TFT的電偏壓應(yīng)力測(cè)試 276 8.2 顯示器光學(xué)特性測(cè)試 278 8.2.1 亮度及亮度均勻性測(cè)試 279 8.2.2 對(duì)比度測(cè)試 279 8.2.3 視角測(cè)試 280 8.2.4 色度學(xué)測(cè)試 281 8.3 響應(yīng)時(shí)間測(cè)試 284 8.3.1 灰階響應(yīng)時(shí)間測(cè)試 284 8.3.2 動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間測(cè)試 285 8.4 閃爍測(cè)試 285 8.4.1 JEITA測(cè)試法 285 8.4.2 FMA測(cè)試法 286 8.5 泛綠測(cè)試 286 8.6 串?dāng)_測(cè)試 287 8.7 殘像測(cè)試 288 8.8 VT曲線測(cè)試 289 8.9 Gamma曲線測(cè)試 290 第9章 陣列制造工程 292 9.1 陣列制造工程概述 292 9.2 濺射 294 9.3 磁控濺射 296 9.3.1 磁控濺射的特點(diǎn) 296 9.3.2 工藝條件對(duì)沉積薄膜的影響 297 9.4 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 299 9.4.1 薄膜沉積基本過(guò)程 299 9.4.2 沉積SiNx薄膜 300 9.4.3 沉積a-Si:H薄膜 301 9.4.4 沉積n+ a-Si:H薄膜 303 9.5 光刻膠的涂布與顯影工藝 303 9.5.1 光刻膠材料特性 303 9.5.2 光刻膠涂布工藝 304 9.5.3 光刻膠顯影工藝 304 9.5.4 光刻膠剝離工藝 305 9.6 干法刻蝕工藝 306 9.6.1 干法刻蝕基本原理 306 9.6.2 干法刻蝕種類 306 9.7 濕法刻蝕 310 9.8 陣列不良的檢測(cè)與修復(fù) 312 9.8.1 檢測(cè)與修復(fù)概述 312 9.8.2 自動(dòng)光學(xué)檢查 313 9.8.3 斷路/短路檢查 316 9.8.4 陣列綜合檢測(cè) 318 9.8.5 陣列不良修復(fù) 320 第10章 彩膜制造工程 322 10.1 彩膜制造工程概述 322 10.2 光刻膠的主要組分與作用 323 10.2.1 顏料 323 10.2.2 分散劑 325 10.2.3 堿可溶性樹(shù)脂 326 10.2.4 感光樹(shù)脂 327 10.2.5 光引發(fā)劑 328 10.2.6 有機(jī)溶劑 328 10.2.7 其他添加劑 328 10.3 彩膜制作工藝流程 328 10.4 彩膜中各層薄膜的特性 330 10.4.1 黑矩陣 330 10.4.2 色阻 331 10.4.3 平坦化層 332 10.4.4 透明導(dǎo)電薄膜 332 10.4.5 柱狀隔墊物 333 10.5 彩膜制程各工藝特點(diǎn) 335 10.5.1 清洗 335 10.5.2 涂布工藝 336 10.5.3 前烘工藝 338 10.5.4 曝光工藝 338 10.5.5 顯影工藝 339 10.5.6 后烘工藝 339 10.6 不良的檢測(cè)與修復(fù) 340 10.6.1 不良的檢測(cè) 340 10.6.2 不良的修復(fù) 341 10.7 再工工程 341 10.8 材料測(cè)試與評(píng)價(jià) 342 10.8.1 色度和光學(xué)密度 342 10.8.2 對(duì)比度 342 10.8.3 色阻的位相差 343 10.8.4 黏度 343 10.8.5 固含量 343 10.8.6 溶劑再溶解性 343 10.8.7 制版性 344 10.8.8 電學(xué)特性 345 10.8.9 表面特性測(cè)試 346 第11章 液晶盒制造工程 348 11.1 液晶盒制造工程概述 348 11.2 取向?qū)油坎脊に?349 11.2.1 取向?qū)硬牧咸攸c(diǎn) 349 11.2.2 凸版印刷方式 352 11.2.3 噴墨印刷方式 354 11.2.4 熱固化 356 11.3 取向技術(shù) 357 11.3.1 取向機(jī)理 357 11.3.2 摩擦取向 358 11.3.3 光控取向 362 11.4 液晶滴注 364 11.5 邊框膠涂布 365 11.6 真空對(duì)盒 367 11.7 紫外固化和熱固化 367 11.8 切割和研磨 368 11.9 液晶盒檢測(cè)和修復(fù) 370 11.10 清洗 372 第12章 模組制造工程 374 12.1 模組制造工程概述 374 12.2 偏光片貼附工藝 375 12.2.1 偏光片貼附 375 12.2.2 加壓脫泡 376 12.3 OLB工藝 376 12.3.1 ACF材料特點(diǎn) 377 12.3.2 COF邦定 378 12.3.3 UV膠涂布 379 12.4 回路調(diào)整 379 12.5 模組組立 380 附錄A 薄膜晶體管的SPICE模型與參數(shù)提取 381 A.1 概述 381 A.2 數(shù)據(jù)獲取 382 A.2.1 工藝參數(shù)的確定 383 A.2.2 閾值電壓的確定 383 A.2.3 場(chǎng)效應(yīng)遷移率的確定 383 A.2.4 器件開(kāi)關(guān)比的確定 384 A.2.5 亞閾值斜率的確定 384 A.3 模型參數(shù)的優(yōu)化 384 A.3.1 薄膜晶體管等效電路 385 A.3.2 氫化非晶硅器件模型 385 A.3.3 低溫多晶硅器件模型 386 A.4 模型參數(shù)提取 389 A.4.1 提取工具簡(jiǎn)介 389 A.4.2 模型參數(shù)提取實(shí)例 393 附錄B 面板設(shè)計(jì)流程與驗(yàn)證工具 403 B.1 設(shè)計(jì)流程概述 403 B.1.1 設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)管理工具 404 B.1.2 電路原理圖設(shè)計(jì) 404 B.1.3 電路仿真 406 B.1.4 版圖設(shè)計(jì) 409 B.2 版圖驗(yàn)證 411 B.2.1 DRC驗(yàn)證 412 B.2.2 ERC驗(yàn)證 415 B.2.3 LVS驗(yàn)證 417 B.2.4 LVL驗(yàn)證 420 參考文獻(xiàn) 421
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