電子器件是現(xiàn)代社會(huì)的基石。傳統(tǒng)的電子加工從基底材料制備,到形成互連所需要的薄膜沉積、刻蝕、封裝等,涉及工藝及步驟繁多,需要消耗大量原料、水、氣及電力能源。實(shí)現(xiàn)不受空間和成本限制的電子電路直接制造是全球科學(xué)界與工業(yè)界的夢(mèng)想,但存在巨大挑戰(zhàn),其中既有設(shè)備硬件的限制,也有來(lái)自高性能電子墨水的限制,更受到固有理論框架的制約。近年來(lái)興起的印刷電子技術(shù),旨在通過(guò)印刷方式在各種基材上制造出功能各異的電子電路,由此打開了一個(gè)全新的先進(jìn)制造領(lǐng)域,有望重塑電子工程產(chǎn)業(yè)。此類方法本質(zhì)上是一種增材工藝,超越了傳統(tǒng)的集成電路制造思想,既可避免使用腐蝕工藝,實(shí)現(xiàn)綠色環(huán)保,又可節(jié)約大量原料。然而,在經(jīng)過(guò)多年發(fā)展的印刷電子學(xué)體系中,仍存在電子墨水配制工藝復(fù)雜、電阻率高、導(dǎo)線形成需要借助繁復(fù)的化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)、器件成型固化溫度高、可靠性偏低、使用壽命短等缺憾。
為解決長(zhǎng)期制約印刷電子學(xué)面臨的理論與技術(shù)瓶頸,筆者實(shí)驗(yàn)室基于多年來(lái)在室溫液態(tài)金屬領(lǐng)域的研究積淀和深入探索,于國(guó)內(nèi)外首次原則性地提出了不同于傳統(tǒng)的液態(tài)金屬印刷電子學(xué)思想,其通過(guò)組分各異的液態(tài)金屬或其合金墨水,可在各種基底上直接打印出所需要的導(dǎo)體、導(dǎo)線乃至各種功能電子器件、傳感器及集成電路等。這種在學(xué)術(shù)上被命名為DREAMInk(direct printing of electronics based on alloy and metal ink,也取夢(mèng)之墨之意)的電子器件制造理念,促成了從墨水材料到打印基底、印刷技術(shù)與裝備等全新理論與技術(shù)體系的綜合突破,被認(rèn)為有望改變傳統(tǒng)電子及集成電路制造規(guī)則,促成了新興電子工程學(xué)的出現(xiàn),其所見(jiàn)即所得的電子直寫模式為發(fā)展普惠型電子制造技術(shù)、重塑個(gè)性化電子提供了變革性途徑,且具有快速、綠色、低成本的優(yōu)勢(shì),已展示出廣泛的應(yīng)用潛力。
經(jīng)過(guò)近10年時(shí)間持續(xù)不斷的努力,筆者實(shí)驗(yàn)室建立了液態(tài)金屬功能電子墨水的制備方法,系統(tǒng)發(fā)展出一系列可適應(yīng)從一維、二維到任意固體表面的液態(tài)金屬打印方法和原理。相應(yīng)技術(shù)除了可顯著降低傳統(tǒng)電子制造模式中的材料成本、制造成本和時(shí)間成本外,還擴(kuò)展了以往技術(shù)不易甚至無(wú)法實(shí)現(xiàn)的電子制造范疇。比如,筆者實(shí)驗(yàn)室基于所發(fā)現(xiàn)的金屬流體與不同基底間的潤(rùn)濕機(jī)制,提出并證實(shí)了可在任意固體材質(zhì)和表面上直接制造電子電路的液態(tài)金屬噴墨打印方法,從而使得樹葉也可變身電路板,該技術(shù)一度入選Top IT Story,業(yè)界對(duì)此配發(fā)的評(píng)論是,圍繞在不同表面打印電路的競(jìng)賽可以終結(jié)了。多年來(lái),筆者實(shí)驗(yàn)室開展的系列研究的原創(chuàng)性和領(lǐng)先性有幸得到了國(guó)內(nèi)外持續(xù)廣泛的重視和認(rèn)可,諸多成果先后被數(shù)百家國(guó)際科學(xué)雜志、新聞媒體和專業(yè)網(wǎng)站諸如MIT Technology Review、IEEE Spectrum、ASME Today、Phys.org、Chemistry World、National Geographic、Geek、Fox News、CCTV等專題評(píng)介。業(yè)界普遍認(rèn)為:找到室溫下直接制造電子的方法,就意味著打開了極為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域乃至通過(guò)家用打印機(jī)制造電子器件的大門。這些工作打破了個(gè)人電子制造技術(shù)瓶頸和壁壘,使得在低成本下快速、隨意地制作電子電路特別是柔性電子器件成為現(xiàn)實(shí),預(yù)示著電子制造正逐步走向平民化。
在研究液態(tài)金屬印刷電子學(xué)基本問(wèn)題的同時(shí),筆者實(shí)驗(yàn)室多年來(lái)還始終不斷努力將有關(guān)理論推向?qū)嶋H應(yīng)用,先后發(fā)明并研制出一系列液態(tài)金屬電子直寫與打印裝備,特別是于2013年推出世界首臺(tái)全自動(dòng)液態(tài)金屬桌面電子電路打印機(jī),以及首臺(tái)具有普適意義的液態(tài)金屬噴墨打印機(jī),攻克了相應(yīng)設(shè)備在通向?qū)嵱没缆分械囊幌盗嘘P(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題。部分產(chǎn)品還應(yīng)邀參展2014年、2015年上海國(guó)際工業(yè)博覽會(huì),2015年中國(guó)南亞博覽會(huì),2015年國(guó)家科技戰(zhàn)略座談會(huì),引發(fā)了重大反響和關(guān)注。2014年,液態(tài)金屬桌面電子電路打印機(jī)獲提名兩院院士評(píng)選2014年中國(guó)十大科技進(jìn)展新聞,中國(guó)工程院為此專門來(lái)函,認(rèn)為:成果對(duì)該領(lǐng)域工程科技發(fā)展將起到巨大的推動(dòng)作用;2015年7月,這一原創(chuàng)性發(fā)明入圍素有國(guó)際科技界創(chuàng)新奧斯卡獎(jiǎng)之稱的R&D 100 Award最終名單,后又于2016年入選美國(guó)《大眾科學(xué)》(中文版) T100創(chuàng)新獎(jiǎng)。綜合各種打印技術(shù)成果在內(nèi)的液態(tài)金屬電子增材制造技術(shù)入選2015年中關(guān)村十大科技創(chuàng)新成果。這一系列來(lái)自工業(yè)界、學(xué)術(shù)界及社會(huì)的認(rèn)可,反映出液態(tài)金屬印刷電子學(xué)的價(jià)值正日益顯現(xiàn)。而當(dāng)前國(guó)際上該領(lǐng)域的進(jìn)展,尚主要處于原理性探索和論文發(fā)表階段。
眾所周知,增材制造技術(shù)被普遍認(rèn)為是第三次工業(yè)革命的重要引擎和核心推動(dòng)力,相應(yīng)研發(fā)近年來(lái)引起世界各國(guó)工業(yè)界和政府高度重視,如美國(guó)啟動(dòng)了旨在打造全球競(jìng)爭(zhēng)新優(yōu)勢(shì)的增材制造國(guó)家計(jì)劃,并于2016年斥資1.71億美元實(shí)施了一項(xiàng)混合柔性電子項(xiàng)目,歐洲則力求通過(guò)實(shí)施工業(yè)4.0確保對(duì)新一輪工業(yè)革命的掌控,中國(guó)也已提出制造2025的宏偉藍(lán)圖,這些均為波及全球的國(guó)家戰(zhàn)略。作為最終有望普及到個(gè)人應(yīng)用層面的電子增材制造工具,液態(tài)金屬印刷電子學(xué)屬于先進(jìn)制造領(lǐng)域的變革性技術(shù),高度貼合了當(dāng)前及今后個(gè)性化電子快速制造與功能器件直接打印的需求,可望催生出一系列超越傳統(tǒng)理念的電子工程學(xué)技術(shù),顯著提速電子工業(yè)與制造業(yè)革新的步伐,成為未來(lái)制造產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)。
鑒于液態(tài)金屬印刷電子學(xué)顯而易見(jiàn)的意義,同時(shí)考慮到國(guó)內(nèi)外較缺乏相關(guān)著作,我們深感有必要將這一領(lǐng)域的基本原理、方法和應(yīng)用情況及時(shí)傳達(dá)給業(yè)界,以期有效引導(dǎo)和集合各方力量,共同促成新興電子制造科學(xué)與技術(shù)的進(jìn)步,從而更好地推動(dòng)社會(huì)進(jìn)步。限于精力,本書不求窮盡液態(tài)金屬印刷電子學(xué)領(lǐng)域全貌,主要介紹筆者實(shí)驗(yàn)室在結(jié)合全球印刷電子領(lǐng)域內(nèi)的關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)需求為導(dǎo)向開展的工作,系統(tǒng)闡述液態(tài)金屬印刷電子學(xué)的基本理論與技術(shù)體系,以及典型的應(yīng)用問(wèn)題。本書寫作啟動(dòng)于2016年,但由于中間大量研究和各種事務(wù),導(dǎo)致成稿過(guò)程斷斷續(xù)續(xù),在本書即將付印之際,我們也欣喜地注意到近期特別是自2018年初以來(lái),國(guó)際上圍繞液態(tài)金屬電子學(xué)發(fā)表的文章猶如井噴一般,彰顯這一新興領(lǐng)域的活力。筆者也期待今后有機(jī)會(huì)再版本書時(shí)能將有關(guān)新成果予以補(bǔ)充進(jìn)來(lái)。
總的說(shuō)來(lái),本書內(nèi)容反映的主要是筆者實(shí)驗(yàn)室近十年來(lái)的工作,同時(shí)對(duì)國(guó)際上涌現(xiàn)出的一些相關(guān)典型成果也作了必要介紹。其間,實(shí)驗(yàn)室許多同志為此做出了大量貢獻(xiàn),如不完全列出的包括:
高云霞、李海燕、鄭義、張琴、王磊、桂晗、郭藏燃、國(guó)瑞、于洋、何志祝、楊俊、陳柏?zé)、楊?yáng)、鄧中山、饒偉等。實(shí)驗(yàn)室有關(guān)研究先后得到中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)基金、中國(guó)科學(xué)院前沿計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)重點(diǎn)基金(No.91748206)以及北京市科委資助。在此謹(jǐn)一并致謝!
限于時(shí)間,加之作者水平有限,本書不足和掛一漏萬(wàn)之處,懇請(qǐng)讀者批評(píng)指正。
劉靜王倩2018年6月
前言
第1章緒論1
1.1印刷電子技術(shù)1
1.2印刷電子材料2
1.3印刷過(guò)程工藝與設(shè)備4
1.4液態(tài)金屬印刷電子技術(shù)5
1.5本書內(nèi)容和框架7
參考文獻(xiàn)7第2章液態(tài)金屬印刷電子技術(shù)概要12
2.1引言12
2.2液態(tài)金屬電子電路基礎(chǔ)電學(xué)效應(yīng)13
2.3液態(tài)金屬電子墨水18
2.4液態(tài)金屬印刷電子設(shè)備19
2.5液態(tài)金屬印刷電子技術(shù)帶來(lái)的影響20
2.6小結(jié)21
參考文獻(xiàn)22第3章液態(tài)金屬印刷電子墨水24
3.1引言24
3.2液態(tài)金屬墨水基本典型材料24
3.3液態(tài)金屬墨水制備和改性方法26
3.4液態(tài)金屬墨水特性30
3.5液態(tài)金屬材料基因組計(jì)劃34
3.6小結(jié)35
參考文獻(xiàn)36第4章液態(tài)金屬液滴與基底表面的可打印性39
4.1引言39
4.2液態(tài)金屬液滴與基底表面撞擊效應(yīng)40
4.3液態(tài)金屬墨水液滴碰撞柔性材料表面44
4.4GaIn24.5液膜和GaIn24.5墨水液膜的對(duì)比研究48
4.5機(jī)理分析49
4.6液態(tài)金屬墨水與常見(jiàn)柔性基底的黏附性51
4.7小結(jié)56
參考文獻(xiàn)57第5章液態(tài)金屬電路的封裝與擦除59
5.1引言59
5.2液態(tài)金屬封裝技術(shù)59
5.3鎵基液態(tài)金屬的擦除方法63
5.4各種擦除方法比較69
5.5小結(jié)70
參考文獻(xiàn)70第6章液態(tài)金屬電子手寫方法72
6.1引言72
6.2液態(tài)金屬電子手寫筆72
6.3液態(tài)金屬電子手寫筆書寫理論75
6.4液態(tài)金屬加熱手寫筆77
6.5小結(jié)81
參考文獻(xiàn)82第7章液態(tài)金屬平面打印電子技術(shù)83
7.1引言83
7.2液態(tài)金屬全自動(dòng)復(fù)合打印設(shè)備84
7.3液態(tài)金屬打印電路制造與分析86
7.4基于相變轉(zhuǎn)印的液態(tài)金屬柔性電路制造93
7.5小結(jié)105
參考文獻(xiàn)105第8章液態(tài)金屬噴墨印刷技術(shù)107
8.1引言107
8.2液態(tài)金屬霧化噴墨式印刷107
8.3適用基底材料及形狀110
8.4液態(tài)金屬絲網(wǎng)印刷113
8.5噴涂印刷電子線路與器件的打印和測(cè)試118
8.6小結(jié)122
參考文獻(xiàn)123第9章液態(tài)金屬紙上印刷技術(shù)124
9.1引言124
9.2紙基底124
9.3GIN電子墨水127
9.4紙上打印設(shè)備133
9.5紙上印刷電路136
9.6小結(jié)136
參考文獻(xiàn)137第10章電子電路基本元件的液態(tài)金屬打印139
10.1引言139
10.2直寫式印刷方法139
10.3電子元件形貌特征140
10.4穩(wěn)定性測(cè)試143
10.5紙基RC振蕩電路的制備145
10.6柔性RFID電感線圈的制備146
10.7小結(jié)151
參考文獻(xiàn)152第11章功能柔性電子器件液態(tài)金屬打印153
11.1引言153
11.2液態(tài)金屬拉伸變阻器153
11.3調(diào)頻調(diào)幅收音機(jī)制作158
11.4LED顯示器160
11.5液態(tài)金屬透明導(dǎo)電薄膜163
11.6液態(tài)金屬柔性溫度檢測(cè)模塊167
11.7小結(jié)171
參考文獻(xiàn)172第12章液態(tài)金屬傳感器與執(zhí)行器直接打印技術(shù)174
12.1引言174
12.2液態(tài)金屬熱電偶174
12.3液態(tài)金屬血糖傳感器185
12.4液態(tài)金屬可拉伸電容傳感器189
12.5可印刷式液態(tài)金屬觸發(fā)型彈性膜電致執(zhí)行器193
12.6小結(jié)196
參考文獻(xiàn)197第13章液態(tài)金屬直寫式能量捕獲器199
13.1引言199
13.2熱電材料性能評(píng)價(jià)指標(biāo)200
13.3直寫式液固熱電偶熱量捕獲器性能201
13.4直寫式液液熱電偶熱量捕獲器性能204
13.5實(shí)用化液態(tài)金屬直寫式熱電發(fā)生器的研制及應(yīng)用207
13.6小結(jié)213
參考文獻(xiàn)213第14章液態(tài)金屬皮膚印刷電子學(xué)216
14.1引言216
14.2液態(tài)金屬生物電極218
14.3液態(tài)金屬皮膚電子印刷技術(shù)222
14.4液態(tài)金屬在皮膚上的電誘導(dǎo)重組現(xiàn)象225
14.5小結(jié)231
參考文獻(xiàn)232第15章液態(tài)金屬印刷式可穿戴電子234
15.1引言234
15.2液態(tài)金屬在織物基底上的性能分析235
15.3織物上液態(tài)金屬電路的制作239
15.4織物電路的封裝技術(shù)241
15.5織物電路的具體應(yīng)用及耐洗性測(cè)試245
15.6基于液態(tài)金屬的電加熱服裝247
15.7小結(jié)252
參考文獻(xiàn)253第16章液態(tài)金屬印刷電子藝術(shù)254
16.1引言254
16.2液態(tài)金屬智能家居254
16.3其他液態(tài)金屬藝術(shù)創(chuàng)意256
16.4液態(tài)金屬表面著色及彩色印刷電子學(xué)258
16.5小結(jié)260
參考文獻(xiàn)261
索引263