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精密運動系統(tǒng)迭代前饋控制方法及應用 反饋控制方法受限于機械系統(tǒng)諧振頻率和伯德(Bode)積分定理,閉環(huán)帶寬不可能無限提高,控制精度有限,難以滿足現代精密運動系統(tǒng)高產量、高品質的性能需求。前饋控制在精密運動平臺(如光刻機硅片臺、工業(yè)打印機等)加速運動過程中,可以大幅減少由參考軌跡引起的誤差,縮短調整時間,從而增加系統(tǒng)產量;在勻速生產過程中,可以有效補償外部擾動引起的誤差,提高控制精度,保證產品品質。本書針對精密運動系統(tǒng)中存在的重復、非重復運動過程,引入迭代學習思想,分別研究了非固定結構、固定結構前饋控制器的設計方法,對提高精密運動系統(tǒng)的伺服性能有著重要意義。 本書可作為高等院校自動控制或機電類專業(yè)研究生的教材或參考書,也可供工程技術人員參考。
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