《超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用》由概論、性能及其影響因素、制備技術(shù)的多樣性、工程與功能應(yīng)用、納米金剛石薄膜、類金剛石涂層、金剛石薄膜的特性表征與測試技術(shù)、理論模型與機(jī)制研究、立方氮化硼薄膜和總結(jié)與展望十個部分所構(gòu)成。比如：金剛石薄膜的性能有金剛石薄膜的力學(xué)性能、金剛石薄膜的電學(xué)性能、金剛石薄膜的熱學(xué)性能、金剛石薄膜的光學(xué)性能，影響金剛石薄膜的因素有摻硼對金剛石薄膜的影響、沉積氣壓對類金剛石膜的影響、ECR等離子體刻蝕CVD對薄膜形貌的影響、氬氣流量對等離子體噴射法制備的金剛石膜形核的影響等。本書力求全面、系統(tǒng)，是一部眾多行業(yè)研究者們在研發(fā)、生產(chǎn)實踐中所取得的豐碩理論與實際經(jīng)驗和智慧之大成，能反映當(dāng)今科研、生產(chǎn)最好新水平之作。