本書(shū)是在第一版的基礎(chǔ)上修訂而成，結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究成果編著而成的。全書(shū)共分為六章，分別介紹了MEMS發(fā)展歷程，MEMS理論基礎(chǔ)，MEMS基本工藝技術(shù)，MEMS設(shè)計(jì)技術(shù)，典型微器件與微系統(tǒng)和微測(cè)試技術(shù)。在介紹微加工工藝方面，《普通高等教育“十一五”規(guī)劃教材：微機(jī)電系統(tǒng)》結(jié)合大量工藝實(shí)例，易于學(xué)生理解，有助于提高其動(dòng)手能力；對(duì)各種典型微機(jī)電器件的介紹，大部分來(lái)源于實(shí)驗(yàn)室的課題研究實(shí)例，內(nèi)容充實(shí)新穎。 　　本書(shū)可以作為本科生和研究生學(xué)習(xí)微機(jī)電系統(tǒng)的教材使用，還可以作為工程技術(shù)等專業(yè)人員的參考手冊(cè)。